판매용 중고 DNS / DAINIPPON FC-3100 #293594349

DNS / DAINIPPON FC-3100
ID: 293594349
Wet stations.
DNS/DAINIPPON FC-3100은 반도체의 정확한 청소 및 에칭을 위해 설계된 습식 에칭 스테이션입니다. 내장형 제어 장비, 디지털 디스플레이, 유체 전달 시스템을 제공하여 정확하고 안정적인 에칭 프로세스를 제공합니다. DNS FC3100 은 고도로 개발된 PLC (programmable logic controller) 를 사용하여 각 에칭 프로세스의 온도, 흐름 속도, 프로세스 시간 등의 에칭 매개변수를 제어합니다. 이를 통해 에칭 작업을 정확하게 실시간 제어할 수 있습니다. DAINIPPON FC 3100은 젖은 에칭 챔버와 린스 챔버가있는 2 챔버 디자인을 사용합니다. 이를 통해 연속 에칭 프로세스가 완료될 수 있습니다. "에칭 '과정 중 에 첫 번째" 챔버' 는 식각 온도 로 가열 되고 정확 한 양 의 화학 물질 과 용제 가 습식 "미디어 '에 첨가 된다. 이것은 반도체 표면을 빠르게 에칭하는 고온 및 부식성 환경을 생성합니다. 그 다음 에 "에칭 '매체 를" 린스' 로 작용 하는 두 번째 방 으로 "펌프 '하여 용해 된 물질 을" 린스' 하고 반도체 표면 을 깨끗 이 한다. FC3100 은 또한 운영자의 안전을 보장하기 위한 다양한 안전 조치를 갖추고 있습니다. 공정 시간 (process time) 과 온도 (temperature) 를 나타내는 디지털 디스플레이 (digital display) 와 우발적 장치 작동을 방지하는 안전 연동 (safety interlock) 이 포함됩니다. 연산자는 에칭 프로세스 및 유량을 조정하여 정확한 에칭 결과를 확인할 수도 있습니다. 또한 PLC 는 프로세스를 모니터링하고 모든 오류를 플래그 (flag) 하여 운영자가 적절한 조치를 취할 수 있도록 합니다. 또한 FC 3100 은 사용자에게 친숙한 다양한 기능을 제공합니다. 여기에는 내장 프로세스 컴퓨터, 자체 진단 시스템 (self-diagnosis machine) 이 포함되어 있습니다. 내장 ECU (Etch Computing Unit) 도 정확하고 반복 가능한 에칭 결과를 제공합니다. 또한 DNS FC-3100 은 낮은 전력 소비 모드와 자산 메모리 (asset memory) 를 제공하여 프로세스 정보를 저장하고 기록 처리를 수행합니다. 전반적으로, FC-3100 은 사용자가 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 에칭 결과를 제공하는 고급 습식 에칭 스테이션입니다. 다양한 안전 측정 및 사용자 친화적 인 기능으로 인해 DAINIPPON FC3100은 반도체 에칭에 이상적인 선택입니다.
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