판매용 중고 DNS / DAINIPPON FC-3000 #9240032

DNS/DAINIPPON FC-3000 (습식 스테이션이라고도 함) 은 기판의 다양한 재료를 퇴적하고 코팅하기위한 산업 장비입니다. 다양한 코팅 기술을 결합하여 기능을 극대화하고 생산성을 높이는 습식 스테이션 (wet station) 입니다. DNS FC3000 은 원자기 (atomizer) 와 스핀 워시 (spin wash) 시스템을 사용하여 얇은 필름 코트를 웨이퍼, 칩 또는 기타 재료 기판에 배치합니다. "아토마이저 '는" 박막' 물질 의 방울 을 기판 에 뿌리며, 그것 은 기판 의 표면 위 에 균일 하게 퍼져 나간다. 스핀 워시 장치 (spin wash unit) 는 드롭릿으로 채워진 영역을 별도의 섹션으로 나누어 얇은 필름 재료의 제어 및 정밀 증착을 허용합니다. DAINIPPON FC 3000은 고급 화학 처리를 사용하여 일관된 결과를 제공하는 고효율 습식 스테이션입니다. 증착 패턴을 강화하고 필름 균일성을 높이는 이중 액션 노즐 머신 (dual-action nozzle machine) 이 특징입니다. 내장 필름 두께 검출기를 사용하면 증착 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 사용이 간편한 HMI (Human-Machine Interface) 를 갖춘 컴팩트 제어 장치 (Compact Control Unit) 를 통해 사용자는 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. DNS/DAINIPPON FC 3000은 또한 고정밀도 고효율 클리닝을 위한 현장 청소 기술을 갖추고 있습니다. 이 도구는 자동 습식 클리닝 모듈을 사용하여 코팅 프로세스 전후에 기판을 청소합니다. 자동 사전 청소 기능은 고압 펌프를 사용하여 먼지, 먼지, 표면 잔류 물을 제거하는 반면, 사후 청소 기능은 잔류 및 사용되지 않은 코팅 재료를 제거합니다. DNS FC-3000은 또한 비교적 큰 기판에 박막 증착을위한 강력한 이온 빔 소스와 통합되어 있습니다. 이 기술은 매우 다양하며, 사용자에게 다양한 애플리케이션을 제공합니다. 나노 스케일 (nanoscale) 에서 매크로 스케일 (macro scale) 에 이르는 필름을 배치 할 수 있으며 반도체 장치, 생명 공학, 식품 가공 및 건축 코팅과 같은 응용 분야에 사용될 수 있습니다. DAINIPPON FC3000은 고장률이 낮고 생산성이 향상된 안정성이 뛰어난 습식 스테이션입니다. 품질 모니터링 자산 (Quality Monitoring Asset) 에는 실시간 피드백 및 진단 기능과 예방적 유지 관리 기능을 제공합니다. 또한 프로세스 일관성 향상을 위해 통합 프로세스 레시피 (integrated process recipe) 및 자동 온도 제어 (automated temperature control) 와 같은 최첨단 기능이 있습니다. DNS FC 3000 은 박막 증착 및 코팅이 필요한 모든 산업 응용에 적합한 선택입니다. 첨단 기술, 탁월한 정밀도, 고효율 (고효율) 의 결합으로 신뢰성 있고 고급 (wet) 스테이션 솔루션을 원하는 모든 사람에게 이상적인 선택이 됩니다.