판매용 중고 DNS / DAINIPPON FC-3000 #9210946

DNS/DAINIPPON FC-3000은 고급 석판 처리를위한 습식 스테이션입니다. 이 장비는 DIOS (직접 유기 용매 영상) 프로세스를 사용하며 포토 마스크 정렬을위한 정밀 단계를 특징으로합니다. 이 시스템은 또한 LED (Light Emitting Diode) 프로젝터와 마른 필름 코트가 필요하지 않은 고출력 정확한 생산용 노출 센서를 갖추고 있습니다. 이 장치는 0.5 미크론 이하의 해상도로 직경 5 ~ 300mm 사이의 웨이퍼를 처리 할 수 있으므로 나노 스케일 장치 인쇄에 이상적입니다. 또한, 기계의 내장 미니 포지셔너 모터 (mini-positoner motor) 및 고속 정렬 (fast alignment) 도구를 사용하면 고해상도 석판 시스템에 필수적인 재현 가능한 정확도로 정밀한 정렬을 유지할 수 있습니다. DNS FC3000은 크롬 마스킹, 전자 빔 마스킹, 금속 밀봉, 반사 방지 (AR) 및 컬러 필터 (CF) 기술로 만든 것을 포함하여 다양한 photomask를 처리하도록 설계되었습니다. 에셋의 DIOS 프로세스는 포토 마스크 결함으로 영향을 받지 않는 빠른 노출 시간 (fast exposure time) 과 뛰어난 패턴 재생산을 위해 측면 및 수직 채널 인쇄 (printing of lateral and vertical channel) 를 허용합니다. DAINIPPON FC 3000 에는 다양한 소프트웨어 기능 및 툴이 포함되어 있어 운영자가 리소그래피 (lithography) 처리의 모든 측면을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 여기에는 적절한 노출 시간 결정, 마스킹 시스템 간 데이터 관리 및 전송, 초점/노출 매개변수 제어 등의 도구가 포함됩니다. 이 모델에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 자동 테스트 (automated testing) 기능이 포함되어 있어 원하는 결과의 품질을 신속하게 보장합니다. 또한, 이 장비는 다양한 통합 교정/도량형 솔루션과 통합되어, 운영자가 프로세스 제어의 최고 정확도를 유지할 수 있습니다. 이를 통해 리소그래픽 프로세스 동안 포토 마스크 (photomask) 와 대상 패턴 사이의 편차가 감지되고 수정 될 수 있습니다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON FC 3000은 정밀 석판화 처리에 대한 최고의 기대치를 충족하도록 설계된 고급 습식 스테이션입니다. 디오스 (DIOS) 프로세스, 빠른 정렬 시스템, 다양한 소프트웨어 기능을 통해 매번 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 통합 교정/도량형 솔루션과 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖춘 이 장치는 재현성과 정확도가 높은 나노 스케일 (nanoscale) 장치를 생산하는 데 적합합니다.