판매용 중고 DNS / DAINIPPON FC-3000 #9000962

DNS/DAINIPPON FC-3000은 고급 반도체 제조 응용 분야에서 습식 공정 웨이퍼 기판을 제공하도록 설계된 습식 스테이션입니다. 습식 화학적 청소 (wet chemical cleaning) 및 기타 고급 처리 기능을 갖추고 있으며, 단일 런에서 최대 14 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 연구 개발 연구소 (Research and Development Labs) 와 생산 시설에 광범위하게 사용됩니다. DNS FC3000의 중심에는 주요 처리 탱크가 있습니다. 이 탱크는 사용자정의 매개변수 (parameters) 의 액체 목욕탕으로 채워져 있으며, 역동적이고 정확한 청소 프로세스를 통해 재료를 웨이퍼에 동시에 청소, 에치 (etch), 배치하도록 설계되었습니다. 이 "탱크 '에는 목욕 을 계속 할 수 있도록 4 개 의 교반기 가 장착 된 주" 챔버' 와 "와퍼 '가" 탱크' 를 통과 하도록 격려 하는 흡입 효과 를 일으키는 회전 "펌프 '가 들어 있다. 이 탱크에는 16 개의 포트가 장착되어 있으며, 각 포트에는 웨이퍼를 둘러싸고있는 여러 개의 개별 노즐 (nozzle) 이 있으며, 이 포트에는 습식 화학 용액이 뿌려져 있습니다. 이렇게 하면 정밀 하고 균일 한 화학 물질 을 적용 할 수 있으며, 여러 개 의 "웨이퍼 '를 동시 에 처리 할 수 있다. DAINIPPON FC 3000의 주요 기능 중 하나는 고급 안전 메커니즘입니다. 이 장비 는 완전 히 밀폐 되어 있어서, "오퍼레이터 '가 유해 화학 물질 에 노출 되는 것 을 감소 시키고, 시스템 내 의 결함 을 신속 히 감지 하고, 차단 하고, 그 문제 에 대해" 오퍼레이터' 에게 경고 할 수 있는 압력 과 온도 "센서 '를 장착 시킨다. DAINIPPON FC3000에는 누수 감지 장치 및 기압 제어 장치도 장착되어 있습니다. FC3000 은 디커밍, 에칭, 스트리핑, 저항 제거, 수동화, 코팅 등 다양한 처리 기능을 제공합니다. 광범위한 웨이퍼 (wafer) 크기를 수용할 수 있으며, 한 번에 여러 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 포트당 한 번에 최대 5 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 빠른 처리 시간 (turnaround time) 과 더 큰 처리량을 제공합니다. DNS FC-3000 은 고급 연구 개발 연구소, 생산 시설에 이상적인 툴입니다. 고급 안전 기능, 고도의 정밀 프로세스 제어, 자동화된 매개변수를 통해 안정적인 작동과 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 다용도가 높은 툴로, 다양한 처리 (processing) 기능을 제공할 수 있으며, 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 수용할 수 있습니다. DNS/DAINIPPON FC 3000 은 고급 반도체 구성 애플리케이션을 위한 탁월한 선택으로, 비용 효율적이고 신뢰성이 높은 습식 처리 솔루션을 제공할 수 있습니다.