판매용 중고 DNS / DAINIPPON 820L #9408632

DNS/DAINIPPON 820L wet station은 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 같은 기판에 안전하고 효율적이며 비용 효율적인 고속 클리닝을 제공하기 위해 설계된 최첨단 장비입니다. 이 장비는 고급 드라이 인 플레이스 (dry-in-place) 프로세스를 사용하여 기판의 무결성과 품질을 유지하면서 웨이퍼 표면에서 박막 및 기타 오염 물질을 제거 할 수 있습니다. DNS 820L은 Ikanaf 8200, Lakeaf 8200 및 Helios 8200의 세 가지 모델로 제공됩니다. 이 모든 모델은 기판의 집적 회로에 손상을 입히지 않고 유기 박막 (organic thin film) 및 기타 박막 오염 물질의 프로세스 크리티컬 청소를위한 고압 습식 노즐 (high-pressure wet nozzle) 을 특징으로합니다. 또한, 이 장치에는 온보드 제어 시스템 (on-board control system) 이 포함되어 있어 최적의 청소 결과를 위해 온도와 압력을 제어 할 수 있습니다. "다이니폰 '820L 은" 웨이퍼' 표면 에서 여러 가지 오염 물질 을 제거 하기 위하여 물리 와 화학 공정 의 조합 을 사용 한다. 첫째, 스테이션은 25nm 이상의 입자를 분리하고 제거하기 위해 웨이퍼 표면에 고가압 여과 된 물을 적용합니다. 둘째, 고급 산화 기술 (advanced oxidation technology) 은 고압 물 폭발로 제거되지 않은 작은 먼지, 산화물 및 기타 작은 오염 물질을 근절하는 데 사용됩니다. 820L 은 단순하고 사용자 친화적으로 설계되었으며, 기술 기술 수준에 관계없이 모든 사용자가 클리닝 프로세스를 신속하고 정확하게 수행할 수 있게 해 줍니다 (영문). 뿐 만 아니라, 이 장치 는 많은 "웨이퍼 '를 신속 하고 효율적 으로 처리 할 수 있으며, 단일 장치 로 크고 작은 기판 을 모두 청소 할 수 있다. 또한, DNS/DAINIPPON 820L은 사용자가 실수로 습하거나 부식성 물질을 시스템에 도입하지 못하도록 안전 연동 (Safety Interlock) 과 같은 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 요약하면, DNS 820L 습식 스테이션 (wet station) 은 실리콘 웨이퍼의 고속 클리닝을 제공하고 웨이퍼 표면에서 박막 및 기타 오염 물질을 최소한의 손상으로 제거하도록 설계된 고급 장치입니다. 이 머신은 사용자 친화적이며, 대용량 부지를 빠르고 효율적으로 처리 할 수있는 고급 드라이 인 플레이스 (dry-in-place) 프로세스를 사용합니다. 또한 DAINIPPON 820L에는 사용자 안전 및 보호를 위해 안전 연동이 장착되어 있습니다.