판매용 중고 AKRION V3 #9299786

AKRION V3은 금속, 산화물, 합금, 고-k 유전체 등 다양한 물질의 높은 처리량, 대형 기판 처리 및 기판 수준 증착을 위해 설계된 습식 스테이션입니다. V3은 모듈식, 완전 통합 프로세스 모듈을 갖춘 최첨단 습식 스테이션입니다. 이 습식 스테이션은 금속, 산화물, 합금 및 고-k 유전체를 포함한 다양한 물질의 가공 및 기판 수준 증착을 지원하도록 설계되었습니다. AKRION V3의 모듈 식 프로세스 모듈은 2 개의 가수 분해 단계와 후처리 단계로 구성됩니다. 첫 번째 가수 분해 단계는 가수 분해 및 재 순환 펌프로 구성되며, 처리 될 다양한 물질의 이온 교환 및 가수 분해를 수행하도록 설계된다. 그런 다음, 제 2 단계 는 가수분해기 와 증기 "콘덴서 '를 이용 하여 물질 을" 슬러리' 로 응축 시키고 증착 기질 을 준비 시킨다. 마지막으로, 포스트 프로세싱 단계 (post-processing stage) 는 재료가 기판에 배치되기 전에 최고 품질을 갖도록 설계되었습니다. V3 는 실시간 모니터링, 자동화된 데이터 로깅, 그래픽 디스플레이 등 다양한 프로세스 제어 옵션을 갖추고 있습니다. 이 습식 스테이션에는 온도 조절, 압력 제어, 온도 초과 모니터링 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 또한 AKRION V3는 사용자에게 초박막 증착, 비필 증착, 무전기식 도금 등 다양한 스퍼터링 및 증착 기능을 제공합니다. V3 는 사용자 지정 기능이 뛰어나며, 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 AKRION V3 은 사용자가 프로세스 매개변수를 사용자 정의하고 일관성 있는 배치 품질 (deposition quality) 을 유지할 수 있도록 사용자 정의 워크플로우 인터페이스를 포함합니다. 게다가, V3 는 환경에 미치는 영향이 적고, 안전과 화학적 배출에 대한 엄격한 산업 표준을 준수합니다. 전반적으로, AKRION V3는 금속, 산화물, 합금 및 고 k 유전체를 포함한 다양한 물질의 가공 및 기판 수준 증착을 지원하도록 설계된 고급 습식 스테이션입니다. V3 는 광범위한 프로세스 제어 기능, 안전 기능, 고급 증설 기능 등을 제공합니다. 또한, AKRION V3는 사용자 정의 기능이 뛰어나고, 사용자 정의 워크플로우 인터페이스를 통해 프로세스 매개변수를 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 마지막으로, V3 는 안전 (Safety) 과 화학 물질 배출 (Chemical Empution) 에 대한 엄격한 산업 표준을 준수하므로 재료 처리 및 증착에 가장 적합한 제품입니다.