판매용 중고 AKRION UP-V2 SA 2000 #293647712

ID: 293647712
빈티지: 2002
Wet bench 2002 vintage.
AKRION UP-V2 SA 2000은 습식 챔버 스테이션으로, 반도체 및 기타 마이크로 전자 부품의 고정밀 처리 및 제작을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 스테이션 (Station) 은 기본 기판에 대한 최소한의 담보 손상으로 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 스테이션에는 이중 (dual) 회전 스핀들 (spindle) 장치가 있으며, 이는 고압 공정 유체 제트를 기판을 향해 지시하여 에칭트의 매우 정확한 적용을 가능하게합니다. 이 스테이션에는 팬 노즐 (fan nozzle) 이 장착 된 인라인 (in-line) 생성 스프레이 시스템도 포함되어 있어 프로세스 균일성과 품질을 향상시킵니다. 스테이션에는 또한 균일 한 처리 온도와 고감도 산소/아르곤 (argon) 혼합을 보장하기위한 가열 된 웨이퍼 테이블 (heated wafer table) 이 포함되어 있으며, 이는 기질 재료의 최적의 에치 레이트와 균일 성을 보장합니다. 기본 제공되는 도량형 시스템은 프로세스의 에치 속도 (etch rate) 와 균일성 (unifority) 을 정확하고 자동화하여 다운타임을 최소화하고 처리량을 증가시키는 데 도움이 됩니다. 이 시스템은 또한 반응 매개변수를 모니터링하고 제어하여 최적의 반복 가능성 (repeatability) 과 프로세스 제어 (process control) 를 보장합니다. 전반적으로 UP-V2 SA 2000은 반도체 산업을 위해 강력하고 효율적인 습식 처리 솔루션을 제공합니다. 이 제품은 정밀도, 속도, 정확도를 결합하여 고품질 제품을 생산하고, 생산 과정에 대한 폐기물과 불필요한 시간, 인력 투자를 제거합니다.
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