판매용 중고 AKRION UP-V2 HL 2000 #70444

AKRION UP-V2 HL 2000은 반도체 산업의 요구를 충족하도록 설계된 AKRION의 고정밀 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 고성능 프로세스 노드에 대한 습식 화학 에칭 프로세스에서 정밀도, 정확성, 반복성 측면에서 탁월한 성능 수준을 제공합니다. UP-V2 HL 2000 습식 스테이션에는 모듈 식 로봇 플랫폼, 통합 습식 화학 전달, 저압 화학 증기 증착, 고용량 베이킹 및 기능 정렬이 있습니다. HL2000은 유연성, 속도, 정확성을 위해 설계된 최첨단 모듈식 로봇 플랫폼을 갖추고 있습니다. 이 로봇 플랫폼을 통해 사용자는 다른 도구, 작업, 프로세스 레시피를 위해 스테이션을 신속하게 재프로그램할 수 있습니다. 저압 화학 증발 시스템 (Low-pressure chemical vapor deposition system) 을 통해 사용자는 광범위한 에치 화학 옵션을 갖춘 균일 한 박막을 생산할 수 있습니다. 또한, 역의 통합 습식 화학 전달 시스템 (integrated wet chemical delivery system) 은 에치 화학 물질을 기판에 직접 정확하고 신뢰할 수있는 전달을 제공합니다. AKRION UP-V2 HL 2000은 또한 최대 12 인치 웨이퍼 및 400mm 최대 700mm 기판을 수용 할 수있는 대용량 베이킹 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 스테이션에는 기능 데이터를 3 초 안에 정확하게 측정, 정렬 및 저장할 수있는 기능 정렬 시스템 (feature alignment system) 이 장착되어 있습니다. 이를 통해 전체 프로세스 전반에 걸쳐 높은 정확도를 측정하고, 반복성을 향상시킬 수 있습니다. UP-V2 HL 2000은 복잡한 프로세스 흐름에서도 에칭 프로세스에 대한 뛰어난 성능과 반복 성을 제공합니다. 높은 화면 비율 에칭, 고해상도 이방성 에칭, 고온 에칭 등 가장 까다로운 프로세스의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. HL2000 (HL2000) 은 최첨단 반도체 장치 생산에 이상적인 솔루션으로, 탁월한 성능 및 프로세스 제어를 지원합니다.