판매용 중고 AKRION Mach2HP #9209820

AKRION Mach2HP 습식 스테이션은 기판 청소, 표면 준비 및 에칭, 코팅 열 처리를위한 강력하고 고급 습식 화학 가공 장비입니다. 스테이션에는 단일 웨이퍼 (single wafer) 및 평면 패널 (flat panel) 크기를 포함하여 다양한 크기와 모양으로 기판을 정확하게 처리하는 3 개의 고유 한 모듈이 있습니다. 모듈에는 조정 가능한 스핀 속도, 스프레이 챔버 (spray chamber) 및 스핀 린스 장치 (spin rinse unit) 가있는 화학 가공 챔버가 포함됩니다. Mach2HP의 화학 가공 챔버는 기판을 청소, 준비, 에치 및 처리하도록 설계되었습니다. 완전한 프로그래밍 가능하며 스핀 속도, 시간, 온도, 압력 등의 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 챔버에는 액체 공급, 배기 가스, 순환 및 여과 탱크가 장착되어 있으므로 폐쇄 루프 (closed-loop) 형식으로 작동 할 수 있습니다. 그 외에도, 스테이션은 다양한 기판을 청소하고 에치하는 데 적합한 온도를 가진 수평 (horizontal) 또는 침수 (submersion) 환경에서 작동하도록 설계되었습니다. AKRION Mach2HP 스프레이 챔버는 기질의 균일 한 처리를 수행하는 데 사용됩니다. 2 축 조정 식 회전 목마는 정확한 코팅, 스프레이 및 에칭 작업을 가능하게합니다. 스테이션은 단일 웨이퍼 및 평면 패널 크기를 포함하여 1, 2 및 3 차원 객체를 처리 할 수 있습니다. 또한, 스프레이 챔버에는 비접촉 온도 측정을위한 온도 감지 프로브 (tempersing probe) 와 다중 액세스 포트 (multiple access port) 가 장착되어 있습니다. Mach2HP의 스핀 린스 장치 (spin rinse unit) 는 코팅 열 처리 전후 기질에서 초과 잔기를 제거하는 데 사용됩니다. 이 장치는 스핀 속도를 조정할 수있는 강력한 2 축 동력 플랫폼으로, 기판의 정확한 린스 (rinse) 및 건조가 가능합니다. 온도가 큰 시스템에서 작동하도록 설계되었으며, 온도조절장치 (BIST) 가 내장되어 있어 증발률 (Evaporation Rate) 을 정확하게 제어할 수 있습니다. 전반적으로, AKRION Mach2HP 습식 스테이션은 다양한 모양과 크기로 기판을 정확하게 청소, 준비, 에치 및 처리하도록 설계된 강력한 기판 습식 처리 장치입니다. 모듈식 머신 (modular machine) 은 전자 제품 (electronics) 에서 재생 가능 에너지 (renewable energy) 에 이르기까지 다양한 산업에 적합하며 안전한 폐쇄 루프 (closed-loop) 도구에서 기판의 정확한 제어 및 균일 한 처리를 제공합니다.