판매용 중고 AKRION GAMA #9278669

AKRION GAMA
제조사
AKRION
모델
GAMA
ID: 9278669
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1997
Wet bench, 6" Configuration: SMS H3P04 Bench Process: Nitride/Oxide wet etch 1997 vintage.
아크리온 가마 (AKRION GAMA) 는 반도체 회로 생산에서 금속을 전처리하고 에칭하기위한 젖은 스테이션입니다. 그것 은 여러 금속 의 서로 다른 "이방성 '성질 을 이용 하여 금속 에" 패턴' 을 만든다. 스테이션은 강력한 산화제를 사용하여 금속을 원하는 패턴으로 용해시킵니다. 일반적으로 GAMA는 4 가지 주요 구성 요소, 즉 반응 챔버, 에치 챔버, 에찬트 및 화학 가공 시스템으로 구성됩니다. 에찬트 (etchant) 는 강력한 산화제, 일반적으로 산 또는 산의 혼합물이다. 이 "에이전트 '는 적절 한 비율 로 그리고 올바른 조건 하 에서 사용 될 때, 원하는" 패턴' 을 만들기 위하여 특정 한 금속 을 녹인다. 반응 챔버 (reaction chamber) 는 에칭트가 도입되고 에칭 과정이 발생하는 영역입니다. 반응 챔버는 밀봉 된, 유체 타이트 용기에 의해 실제 세계와 분리됩니다. 이 컨테이너를 에치 챔버라고합니다. 에치 챔버에는 다양한 구성 요소가 장착되어 있습니다. 여기에는 에칭 프로세스가 최적화되도록 증기 격납실, 금속 필러 및 배플이 포함됩니다. 화학 가공 "시스템 '은" 에칸트' 를 정확 하게 측정 하고 그것 의 흐름 을 조절 하기 위하여 작용 한다. 원하는 결과를 얻기 위해 정확한 에치 (etch) 매개변수로 조정할 수 있는 컴퓨터 프로그램 (computer program) 과 비슷합니다. 이 "시스템 '은 또한 정확 하고 균일 한 금속 용해 를 유지 하기 위하여 보정 되어야 한다. 일단 적절 한 조리법 을 선택 하면, 에칭트 용액 을 "에치 챔버 '에 부어 넣는다. 온도 가 증가 되고, 반응 하는 금속 이 "에치 챔버 '의 표면 에서 기화 된다. 금속이 기화함에 따라, 그것은 에찬트와 결합하고 패턴이 형성되기 시작합니다. 공정 의 정확도 는 "에찬트 '농도 와 온도 의 정확 한 조절 에 달려 있다. 아크리온 가마 (AKRION GAMA) 는 강력한 금속 에칭 및 전처리 스테이션으로, 원하는 정확한 패턴을 만드는 데 의존할 수 있습니다. 그것 은 "파라미터 '를 정확 하게 제어 하여 금속 을 균일 하게 제거 할 수 있게 해 준다. 가마 (GAMA) 는 복잡한 금속 반도체 부품의 생산에 사용될 수 있으며, 반도체 산업에 귀중한 도구이다.
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