판매용 중고 AKRION GAMA #9210939

AKRION GAMA는 AKRION Systems에서 개발하고 디자인 한 습식 스테이션입니다. 이 스테이션은 다양한 기판에서 고정밀 에칭, 청소, 도금 및 증착에 사용되는 자체 포함 된 자동 스테이션 (automated station) 입니다. 이 습식 스테이션은 MEMS 및 NEMS 응용 프로그램을 포함한 마이크로 전자 장치 처리에 이상적입니다. 다양한 재료와 기판에 대한 우수한 에치 균일성 (etch unifority) 및 공정 반복 기능을 제공합니다. GAMA 웨트 스테이션 (Wet Station) 은 최첨단 내구성 기술을 활용하여 뛰어난 프로세스 제어 및 성능을 제공합니다. 이 스테이션에는 고객의 요구에 맞게 쉽게 구성할 수 있는 고급 (Advanced) 펌핑 및 배포 시스템이 있습니다. 스테이션에는 프로세스 제어 및 모니터링을 단순화하는 폐쇄 루프 (closed-loop) 제어 장비도 포함되어 있습니다. AKRION GAMA는 광범위한 프로세스 솔루션을 제공합니다. 스테이션은 완전히 구성 가능하며 실리콘, 유전체, 실리콘 질화물, 구리 및 기타 금속을 포함한 다른 기판 재료를 처리 할 수 있습니다. 더 큰 시스템에 통합 할 수있는 모듈 식 스테이션입니다. 가마 (GAMA) 는 밀봉된 표면과 배기로 설계되어 안전하고 친환경적인 습식 스테이션입니다. 공정 화학 물질 은 밀봉 된 "컨테이너 '에 저장 되는데, 이 용기 는 자동적 으로 공정" 챔버' 에 저장 된다. 따라서 위험 물질이 환경에 들어가는 것을 방지할 수 있습니다. AKRION GAMA에는 정밀 검사 및 정렬이 가능한 초고해상도 광학 장치가 장착되어 있습니다. 다양한 응용 분야에 여러 공정 화학 챔버를 사용할 수 있습니다. "스테이션 '에는 또한 차동" 펌프' 가 들어 있는데, 이 "펌프 '는 최적 된 공정 결과 를 얻기 위하여 유체 를 정확 하게 측정 하는 데 사용 된다. 또한, 스테이션의 온도 조절 기계는 대량 생산 중 일관된 결과를 보장합니다. GAMA는 프로세스 적응 및 최적화에 유연성을 제공합니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 레시피 편집기 (Recipe Editor) 를 사용하여 스테이션을 쉽게 설정하고 프로그래밍할 수 있습니다 이 소프트웨어는 사용자 정의가 용이하며, 최대 50 개의 개별 프로세스를 처리 할 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어를 사용하여 프로세스 매개 변수를 수동으로 제어하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 아크리온 가마 (AKRION GAMA) 는 신뢰할 수 있고 내구성이 뛰어난 습식 스테이션으로, 우수한 에칭 및 클리닝 성능을 제공하는 것으로 입증되었습니다. 이 습식 스테이션 (Wet Station) 은 뛰어난 프로세스 제어 및 반복성을 제공하여 뛰어난 장치 생산성과 신뢰성을 보장합니다. 마이크로 일렉트로닉 장치 제조 응용 분야에 이상적인 습식 스테이션입니다.