판매용 중고 AKRION GAMA #9047520

AKRION GAMA는 고급 반도체 처리를 위해 설계된 습식 스테이션입니다. 이 스테이션은 최고의 고급 습식 (wet) 프로세싱 및 화학 공학을 통합하여 혁신적이고 신뢰할 수 있는 제작 플랫폼에 탁월한 주기 시간, 처리량, 품질, 생산량을 제공합니다. 핵심에서, GAMA는 웨이퍼 기질에서 정확한 화학 공정을 수행하는 습식 가공 장비입니다. 아크리온 가마 (AKRION GAMA) 시스템은 정밀 랙 (rack) 과 피니언 모션 (pinion motion) 을 기반으로 하여 높은 수준의 정확성과 반복성으로 웨이퍼를 빠르게 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 200mm 스틸 트랜스퍼 포드에서 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼 배치를 처리하도록 설계되었습니다. 이 전송 포드는 스테이션의 프로세스 모듈 (process module) 사이를 이동하면서 깨끗하고, 건조하며, 오염이 없도록 설계되었습니다. 각 프로세스 모듈에는 정밀 배치 처리에 필요한 정확한 시약 (reagent) 의 양을 분배하도록 설계된 단일 정밀 전동 시약 제팅 스테이션 (reagent jetting station) 이 있습니다. 고급 시약 제팅 스테이션은 허용 범위 (± 10%) 내에서 일관되고 반복 가능한 용량 제어를 보장합니다. 스테이션의 비전 머신은 품질 보증 및 무결성 점검을위한 혁신적인 기능을 제공합니다. 화학적 패턴의 고해상도 이미지와 다른 웨이퍼 (wafer) 매개변수를 캡처, 저장하여 쉽게 검토하고 참조할 수 있습니다. 이 "스테이션 '에는 또한 매우 다양 한 화학 시약," 가스' 및 기타 소모품 을 포함 한 종합 재료 목록 이 들어 있다. 재료 목록은 특정 프로세스 요구사항에 맞게 조정할 수 있으며, 공구는 업계 표준 (Industry Standard) 로보틱스 (Robotics) 를 사용하여 프로세스 모듈로 재료 전송 및 전달합니다. GAMA 인터페이스는 시약 (reagent), 화학용량 (chemical dosage), 매개변수 (parameter) 등 자산의 모든 측면에 대한 사용자 친화적 인 프로그래밍과 모니터링을 가능하게 합니다. 이 모델을 통해 사용자는 스테이션에서 하나 이상의 장비 프로세스 모듈을 사용하는 사용자정의 레시피 (customized recipe) 또는 프로세스 시퀀스 (sequence of process) 를 실행할 수 있습니다. 최대 수율 최적화를 위해 DoD 또는 Randomly Varying 패턴과 같은 고급 프로그래밍 옵션을 사용할 수 있습니다. 요약하면, AKRION GAMA는 대용량 반도체 제조의 과제를 극복하기 위해 설계된 고급 습식 스테이션입니다. 뛰어난 주기 시간, 처리량, 품질, 생산량을 자랑하는 GAMA 는 다양한 제조 애플리케이션에 적합한 안정적이고 경제적인 솔루션입니다.