판매용 중고 AKRION GAMA 300 #9200152

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AKRION GAMA 300
판매
ID: 9200152
웨이퍼 크기: 12"
Wafer cleaner, 12".
아크리온 가마 300 (AKRION GAMA 300) 은 습식 가공 및 증착 공정 단계의 통합이 필요한 고급 제조 공정을 위해 개발 된 습식 스테이션입니다. 이 제품은 오염 문제를 발생시키거나 제조 수출을 손상시키지 않고 필름, 에치, 클린, 금속화, 기타 프로세스의 운영을 간소화하도록 설계된 일체형 기계입니다. AKRION GAMA-300은 기판 무결성을 보존하고 MEMS, LED, CMP 등의 다양한 기판을 지원하도록 설계된 자동 습식 처리에 사용되는 완전 통합 드라이 롤러 시스템 (dry roller system) 을 갖추고 있습니다. 임베디드 액체 관리 솔루션은 클로즈드 루프 (closed-loop) 성분 관리를 제공하여 운영자가 정확한 매개변수를 유지하고 레시피 추적 가능성을 유지할 수 있습니다. 자동화된 어댑터 처리 시스템은 다양한 카세트와 컨테이너 (container) 를 처리하여 프로세스 변경 (change-over) 과 관련된 시간과 비용을 최소화할 수 있습니다. 가마 300 (GAMA 300) 은 배치 (batch) 또는 인라인 (inline) 작업뿐만 아니라 다양한 통합 챔버를 수용할 수 있는 맞춤형 처리 모듈 구성을 제공하여 광범위한 습식 프로세스와의 호환성을 보장합니다. 통합 로봇 시스템은 기판 처리에 유연성을 제공하여 추가 프로세스 단계를 프로세스 내 (in-process) 통합할 수 있습니다. 사용이 편리하며 원격 액세스, 실시간 데이터 공유, 원격 진단 프로세스 등을 제공하는 간편한 웹 기반 제어 인터페이스입니다 (영문). 또한 GAMA-300 은 모듈식 빌딩 블록 (building block) 을 갖추고 있어 요구 사항에 맞는 경쟁 제품 솔루션을 만들 수 있습니다. 이 기계는 건조 또는 습식 오염으로부터 기판을 보호하며, 탁월한 수준의 성능, 신뢰성 및 유연성을 제공합니다. 직관적이고 대화형 컨트롤을 갖춘 GUI (Graphical User Interface) 가 장착되어 있으며 모든 위치에서 원격으로 작동하도록 설계되었습니다. AKRION GAMA 300은 다중 또는 단일 웨이퍼 프로세스를 통합 할 수 있지만 정확한 프로세스 제어를 제공합니다. 높은 처리량과 강력한 하드웨어로 유지보수 비용을 최소화하면서, 반복 가능한 운영을 보장합니다. AKRION GAMA-300은 다양한 산업에 적합한 강력한 습식 처리 솔루션입니다. 완전 자동화 (Fully Automated) 방식이며 오염 없이 다양한 기판을 처리하거나 문제를 발생하도록 설계되었습니다. 인라인 (inline) 또는 배치 (batch) 작업을 위한 맞춤형 처리 모듈을 사용자 친화적이고 직관적인 소프트웨어와 함께 제공함으로써, GAMA 300은 복잡한 운영 작업을 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다.
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