판매용 중고 AKRION AWP #9141996
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ID: 9141996
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Wet process system, 8"
Install type : Stand alone
Process flow : R -> L
Cassette interface :
(2) Tec SEM integrated SMIF
(50) Wafer batch loading
Robot handler : Parker
Module configuration :
Mod 1 (Process) : DSP
ƒChem : H2SO4/HF 13:1
ƒTemp : 60°C
ƒMaterial type : PVDF
Mod 2 (Rinse) : QDR (Cold) / CO2
ƒTemp : Ambient
ƒMaterial type : PVDF
Mod 2 (Clean) : Gripper clean (GC)
ƒMaterial type : PVDF
Mod 3 (Auxiliary) : AUX
Mod 4 (Dryer) : DMG
ƒMarangoni IPA dry
ƒMaterial type : PVDF
Mod 5 (Buffer) : PP
Mod 6 (Transfer) : Transfer station
Mod 6 (In/Out station) : In/Out
ƒUI, CPU, Monitors
ƒFire extinguisher system (Control panel)
Chemicals :
H2SO4 (PFA material)
HF (PFA material)
IPA (SS material)
Drains :
Main : PVC, 50A
Acid : PVC, 50A
Alkali : PVC, 50A
Industrial : PVC, 50A
Reclaim : PVC, 50A
Exhaust :
Acid : PVC, 100A (Flange)
Alkali : PVC, 100A (Flange)
Solvent : PVC, 100A (Flange)
Safety interlocks :
Leakage sensor
Temp
Over temp
Exhaust
Sniffer
Ultrasonic dry protect
Heat exchanger
Door sensors
Light barrier
Power requirements : 120/208VAC (8kVA), 22A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
UPS back-up power : 120/208VAC (7.5kVA), 21A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
2001 vintage.
AKRION AWP (Advanced Wet Processing) 는 자동 웨이퍼 생산을 위해 설계된 습식 스테이션입니다. 웨이퍼 클리닝, 표면 처리, 에칭, 결합, 리소그래피 등 다양한 습식 화학 가공 작업을 수행 할 수 있습니다. AWP 스테이션에는 사용자 정의 설계 웨이퍼 홀더, 로봇 암, 계량 장비, 유체 관리 시스템 등 자동 습식 처리에 필요한 모든 구성 요소가 포함되어 있습니다. 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 는 처리 중 웨이퍼를 안전하게 고정하여 미끄러지거나 오염되지 않도록 설계되었습니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 정확하게 프로그래밍 된 움직임을 사용하여 웨이퍼를 스테이션의 원하는 처리 영역에 정확하게 배치합니다. 또한 표준 액체 부피 를 "웨이퍼 '에 정확 하게 측정 하도록" 프로그램' 할 수 있다. 계량 장치 (Weighing Unit) 는 정확하고 반응성 있는 디지털 스케일이며, 복잡한 알고리즘을 사용하여 습식 웨이퍼 스택 (Wet Wafer Stack) 의 무게에 작은 변화를 감지하여 스테이션의 로드 및 언로드를 촉진합니다. 유체 관리 기계 가 "스테이션 '에 통합 되어" 웨이퍼' 에 "액체 '의 안정적 이고 믿을 만한 흐름 을 제공 한다. 또한 2 개의 미세 유체 혼합 모듈로 구성되어 있으며, 재료를 정밀하게 투여 할 수 있습니다. AKRION AWP 스테이션은 또한 화학 저항 바닥재, 내장 경보 도구, 작업 영역 주변의 안전 울타리, 유해 액체 및 증기에 노출 위험을 줄이기 위해 환기 후드 (ventilated hood) 와 같은 운영자 안전을 보장하기위한 여러 안전 제어 기능을 갖추고 있습니다. 또한, AWP는 물 또는 기타 오염 물질이 작업 공간으로 들어가는 것을 방지하기 위해 방수 (water-resistance) 인클로저로 설계되었습니다. 결론적으로, AKRION AWP는 고도로 자동화되고 효율적인 웨이퍼 생산이 가능한 고급 습식 처리 스테이션입니다. 견고하고 안전한 디자인, 정밀한 로봇 암 (robotic arm), 무게 측정 에셋 (weight asset), 뛰어난 유체 관리 모델 (excellent fluid management model) 을 통해 다양한 습식 화학 가공 작업을 수행 할 수있는 매우 신뢰할 수있는 장비입니다.
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