판매용 중고 AKRION AWP #9141985

AKRION AWP (Advanced Wet Processing) 는 AKRION Systems에서 설계 한 습식 스테이션입니다. 이 제품은 프런트 엔드 라인 (front-end-of-line) 및 백 엔드 라인 (BEOL) 프로세스와 같은 다양한 고급 반도체 애플리케이션에서 정밀 웨이퍼 제조 및 처리를 위해 설계되었습니다. AWP 는 설치 공간이 넓고 처리량이 많은 완전 자동화된 습식 (wet) 프로세스 생산 라인을 제공합니다. 이 장비에는 최대 2 백 28 개 (228) 웨이퍼 처리 슬롯을 동시에 처리 할 수 있으며 450 개 (455) 까지 확장 할 수있는 플랫폼이 장착되어 있습니다. 전체 시스템의 모듈식 설계는 다운타임과 재작업을 최소화하면서 높은 프로세스 효율을 제공합니다 (영문). 스테이션에는 멀티 축 로봇 암 (multi-axis robotic arm) 유닛이 있으며, 이는 이전 및 포스트 프로세스 동안 웨이퍼의 원활한 이동에 사용됩니다. 로봇 암은 웨이퍼를 한 위치에서 다른 위치로 회전하도록 프로그래밍 될 수 있으며, 최대 155 개의 카세트 (155) 카세트 및/또는 캐리어를 수용 할 수 있습니다. 이 기계에는 인라인 웨이퍼 스캐너 (in-line wafer scanner) 가 장착되어 있어 사용자가 웨이퍼 표면의 균일성을 지속적으로 확인할 수 있습니다. AKRION AWP에는 고정밀 측정 및 분석을 제공하는 고급 도량형 소프트웨어 패키지가 장착 된 공정 챔버 (process chamber) 가 포함되어 있습니다. 통합 데이터 로깅 소프트웨어를 사용하면 온도, 가스 흐름, 압력 등의 제조 통계를 모니터링하고 기록할 수 있습니다. 또한, 스테이션에는 최적의 성능에 가장 적합한 프로세스 매개변수를 정확하게 결정할 수있는 통합 머신 러닝 (integrated machine learning) 알고리즘이 있습니다. 스테이션에는 스핀 코팅, 화학 습식, 리소그래피, 화학 기계 연마 (CMP) 및 웨이퍼 청소를 포함한 다양한 습식 공정 기능이 있습니다. 또한 습도 모니터링 (Hidity Monitoring), 진동 감지 (Vibration Sensing) 등 다양한 자동화된 프로세스 제어 시스템을 갖추고 있어 정밀하고 자동화된 프로세스 제어를 지원합니다. 통합 프로세스 제어 (Integrated Process Control) 알고리즘은 공구가 고효율적으로 작동하도록 합니다. 자산은 온도, 압력, 흐름, 습도, 가스 농도 등 다양한 프로세스 매개 변수를 처리 할 수 있습니다. 또한, 통합 안전 시스템에는 압력 감수성 안전 밸브 (pressure-sensitive safety valve) 가 포함되어 가압 환경의 사고를 방지합니다. 이러한 모든 기능과 기능이 결합되어, AWP 는 시장에서 가장 고급적이고 효율적인 Wet Station 솔루션 중 하나입니다. 강력한 디자인, 높은 처리량 및 프로세스 제어를 통해 AKRION AWP는 BEOL 및 MEMS 장치 제작과 같은 다양한 최첨단 반도체 애플리케이션에 적합합니다.