판매용 중고 AKRION AWP #9141974
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ID: 9141974
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Wet process system, 8"
Type : CP / H2O2
Install type : Stand-Alone
Process flow: L -> R
Cassette interface :
(2) Tec SEM integrated SMIF
(50) Wafer batch loading
Robot handler : Hauser
Module configuration :
Mod 1 (Process) : BSG
ƒChem : H2SO4/HF 16:1
ƒTemp : 60°C
ƒMaterial type : Quartz tank
Mod 2 (Rinse) : QDR (Cold)
ƒTemp : Ambient
ƒMaterial type : PVDF
Mod 3 (Clean) : Gripper clean (GC)
ƒMaterial type : PVDF
Mod 4 (Process) : PHOS
ƒChem : H3PO4
ƒTemp : 155°C
ƒER-OX : 40+/-8, PT-OX: 100
ƒER-SIN : 48+/-6, PT-SIN: 60
ƒU%-OX: 20, U%-SIN: 5
Material type : Quartz tank
Mod 4 (Rinse) : QDR (Hot)
ƒTemp : 50°C
ƒMaterial type : PVDF
Mod 5 (Rinse) : Final rinse (FR)
ƒMegasonic option
ƒMaterial type : Quartz tank
Mod 6 (Dryer) : DMG
ƒMarangoni IPA dry
ƒMaterial type : PVDF
Mod 6 (Aux) : Auxiliary place
Mod 7 (Buffer) : PP
Mod 8 (Transfer) : Transfer station
Mod 8 (In/Out station) : In/Out
ƒUI, CPU, Monitors
ƒFire extinguisher system (Control panel)
Chemicals:
H2SO4 (PFA material)
HF (PFA material)
H3PO4 (PFA material)
HCL (PFA material)
IPA (SS material)
Drains :
Main : PVC, 50A
Acid : PVC, 50A
Alkali : PVC, 50A
Industrial : PVC, 50A
Reclaim : PVC, 50A
Exhaust :
Acid : PVC, 100A (Flange)
Alkali : PVC, 100A (Flange)
Solvent : PVC, 100A (Flange)
Safety interlocks :
Leakage sensor
Temp
Over temp
Exhaust
Sniffer
Ultrasonic dry protect
Heat exchanger
Door sensors
Light barrier
Power requirements : 120/208VAC(12kVA), 60A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
UPS back-up power : 120/208VAC (8kVA), 23A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
1997 vintage.
AKRION AWP는 인쇄 전에 기판의 우수한 청소, 컨디셔닝 및 준비를 제공하기 위해 설계된 습식 스테이션입니다. AWP (atomized spray impingement water) 장비를 사용하여 롤 기반 및 웹 기반 기판을 포함하여 수성 기반 클리닝 유체를 기판에 전달합니다. 환경 규정 준수 및 탁월한 인쇄 품질, 다용도 기능을 모두 제공하도록 설계되었습니다. AKRION AWP 시스템은 기판 습기 및 청소를위한 멀티 스테이지 사이클을 사용하며, 일관되고 균일 한 스프레이 패턴을 위해 가변 압력 노즐 및 최적화 된 흐름 특성을 특징으로합니다. 이를 통해 기판의 모든 영역이 클리닝 유체 (cleaning fluid) 로 잘 덮여 있고 초과 스프레이 (over-spray) 가 최소화됩니다. 노즐은 다양한 기판 너비와 길이를 다룰 수 있으며, 릴리프 (relief), 텍스처 (texture), 패턴 (pattern) 기능이 있는 기판을 포함하여 웹 기반 및 롤 기반 기판을 모두 처리 할 수 있습니다. AWP 는 여러 가지 기계적· 화학적 과정 을 사용 하여, 기질 청소 및 컨디셔닝 을 위한 최상 의 결과 를 보장 한다. 첫째, 기질은 이온화 된 물과 세제의 가압 스프레이를 사용하여 사전 청소됩니다. 이어 역동적 인 이온화 된 물 린스가 뒤 따릅니다. 마지막으로, 기질은 자외선 및 화학 혼합물로 조건화된다. 이 프로세스는 후속 인쇄 프로세스를 위해 깨끗하고 잘 준비된 서피스를 보장합니다. AKRION AWP에는 통합 폐수 관리 장치 및 Low-E® 열 단열과 같은 여러 환경 기능이 포함되어 있습니다. 이것 은 "AWP '가" 에너지' 효율적 이고 환경 에 안전 하며 물 과 화학 물질 의 소모 를 낮추도록 설계 되었다. 또한 UL, CE 및 ROHS 호환 인증을 받았습니다. AKRION AWP는 인쇄 전 프로세스 전체를 최적으로 수행하기 위해 여러 가지 고급 (advanced) 기능을 제공합니다. 여기에는 정확한 프로세스 제어, 지속적인 자체 감사 (self-audit) 도구, 스프레이가 감지되지 않을 때 에셋을 일시 중지하는 자동 정지 (auto-stop) 모드를 보장하는 통합 센서 머신 (integrated sensor machine) 이 포함됩니다. 전반적으로 AWP (Wet Station) 는 다양한 기능과 기능을 제공하여 인쇄 기판을 청소, 조건, 준비하는 훌륭한 방법입니다. 탁월한 성능과 환경 규정 준수를 제공하도록 설계되었으며, 사전 인쇄 (Pre-Print) 어플리케이션을 위한 안정적이고 효율적인 선택입니다.
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