판매용 중고 WYKO / VEECO SP 3200 #9174271
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WYKO/VEECO SP 3200은 중요한 반도체 장치의 분석을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템을 사용하면 고급 나노 기술 (Nanotechnology) 을 통해 만든 기판을 포함하여 큰 기판을 효과적으로 분석 할 수 있지만, 탁월한 정확도를 유지할 수 있습니다. 이 견고 한 도량형 장치 는 빠르고 정확 한 "웨이퍼 '검사 를 할 수 있게 해 주며, 50" 나노미터' 의 작은 "패턴 '을 분석 할 수 있다. SEM (High-Resolution Scanning Electron Microscopy) 및 표면 프로파일 링 기능을 지원합니다. 이 기계는 또한 최대 400mm/sec로 이동할 수있는 빠르고 자동화된 XY 단계를 특징으로합니다. 검사 도구에는 최신 AccuVisc (TM) -MX 통합 소프트웨어 패키지가 장착되어 있으며, 데이터 수집 및 보고를 위한 그래픽/사용자 친화적 플랫폼을 제공합니다. 이 포괄적 인 프로그램은 최대 4 개의 개별 X 및 Y 스캔 헤드를 시뮬레이트할 수 있으며, 실시간으로 자세한 3D 장치 맵을 만들 수 있습니다. 내장형 툴킷에는 비디오 출력이 내장되어 있어 실시간 시각화 (Visualization) 가 가능합니다. WYKO SP 3200 자산은 또한 자동 임계 치수 (CD) 및 오버레이 측정과 같은 여러 가지 특수 기능을 제공합니다. 이 모델은 또한 샘플 웨이퍼 (sample wafer) 의 저항성을 측정하는 데 사용될 수 있으며, 미세 제어 및 분석을 위해 고급 전압 프로그래밍 모듈 (advanced voltage programming module) 이 장착되어 있습니다. VEECO SP 3200 은 매우 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 고급 변조 및 리소그래피 (lithography) 애플리케이션에 적합합니다. 이 시스템은 탁월한 정확성과 빠른 스캐닝 (scanning) 기능을 제공하여, 웨이퍼 기판에서 가장 작은 결함 또는 불규칙성까지 신속하게 분석, 식별할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 통합 소프트웨어 패키지 (integrated software package), 특화된 기능을 갖춘 이 장치는 반도체 설계 및 분석을 위한 탁월한 플랫폼을 제공합니다.
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