판매용 중고 WYKO / VEECO RST+ #9269580
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WYKO/VEECO RST + 는 연구원과 과학자들이 반도체 웨이퍼의 두께, 모양 및 프로파일을 측정 할 수있는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 다른 기술보다 훨씬 빠른 속도로 정확하고, 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 상승하는 goniometer를 사용하여 두 축을 통해 샘플링하고 측정합니다. 이 시스템은 또한 고정밀 인코더와 통합 자동 마이크로 레이저 캘리퍼를 사용하여 최고의 정확도를 제공합니다. WYKO RST + 의 주요 목적은 표면에서 웨이퍼의 매끄러움과 평탄도를 측정하는 것입니다. 이것은 웨이퍼를 스캔하고 웨이퍼의 표면 지형을 나타내는 고해상도 맵 (high resolution map) 을 인쇄함으로써 수행됩니다. 재료 두께, 단계 높이, 모서리 정의, 필름 응력 측정 등과 같은 추가 측정도 사용할 수 있습니다. VEECO RST + 에는 인체 공학적 디자인과 빠르고 쉬운 작동을 위해 사용자 친화적 인 인터페이스 디스플레이가 있습니다. 원격 작업 및 데이터 수집을 위한 리모콘도 포함되어 있습니다. 이 장치는 또한 다양한 소프트웨어 패키지를 통해 경험을 사용자 정의하고 데이터를 신속하게 분석할 수 있습니다 (영문). 여기에는 포괄적인 사용자 설명서, 클리어 설정 단계 (clear setup steps), 성능 유지 및 최적화를 위한 유용한 툴 키트가 함께 제공됩니다. 정확성 측면에서 RST + 는 가장 정확한 결과를 제공합니다. 이 기계는 반복 성을 통해 최대 0.025 nm 해상도를 측정 할 수 있으며, 이는 웨이퍼 측정 및 분석을위한 매우 신뢰할 수있는 플랫폼입니다. 이 도구는 또한 500mm 이상의 큰 측정 범위를 특징으로하며, 이는 크고 복잡한 웨이퍼에 이상적입니다. 전반적으로 WYKO/VEECO RST + 는 강력하고 사용하기 쉬운 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 정확하고 안정적인 측정을 위해 고급 디자인과 뛰어난 반복성을 제공합니다. 또한 다양한 소프트웨어 패키지를 통해 사용자 환경을 사용자 정의하고 데이터를 신속하게 분석할 수 있습니다 (영문). 사용자 친화적 인터페이스와 인체 공학적 (ergonomic) 설계를 통해 이 모델은 쉽게 작동할 수 있으며, 데이터 수집을 훨씬 간소화할 수 있습니다. 이 매우 정확 한 장비 는 오늘날 개발 중 에 있는 "반도체 '세계 의 요구 를 충족 시키는 데 필수적 이다.
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