판매용 중고 WYKO / VEECO RST+ #67577

WYKO/VEECO RST + 는 반도체 웨이퍼의 특성화를위한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 재료 (wafer material) 의 광학 및 전기 특성을 측정하기 위해 설계되었으며, 추가 분석 및 계기 제작을위한 귀중한 데이터를 제공합니다. 이 장치는 엑시머 레이저 스캐닝 기술 (eximer laser scanning technology) 을 기반으로 한 도량형 장치 (metrology unit) 와 다중 프로브 기술을 활용하는 테스트 장치 (testing unit) 로 구성됩니다. 도량형 단위는 결정 방향, 텍스처, 서피스 및 모서리 품질, 두께 균일성, 서피스 반사도, 지형 높이 등 다양한 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 이것은 최대 30mm/sec의 스캔 속도로 수행 할 수 있으며, 여전히 ± 2.5nm (2 시그마) 의 높은 정확도로 반복 가능한 결과를 달성합니다. 또한 3D로 이미징하고 결과를 입체 적으로 표시 할 수 있습니다. 이 기계는 실리콘에서 갈륨 비소까지 다양한 물질 유형을 검사 할 수 있습니다. 테스트 장치는 전기 및 광전자 테스트에 다중 프로브 기술을 사용합니다. 여기에는 게이트 누출 전류, 게이트 커패시턴스, 게이트 드레인 커패시턴스, 누출 전류 등 다양한 매개변수의 전기 특성이 포함됩니다. 이것은 ± 0.5fA의 정확도로 수행 될 수 있습니다. 또한 광학 수명 및 광선 대 반송파 이동성 비율과 같은 광전자 특성을 측정 할 수 있습니다. 최대 30 개의 프로브/초 (probe/sec) 의 스캔 속도를 통해, 이 도구는 단일 웨이퍼의 전기 및 광 특성을 모두 분석 할 수 있습니다. WYKO RST + 자산은 웨이퍼 재료의 광학 및 전기 특성 모두에 대해 정확하고 반복 가능한 측정 결과를 제공합니다. 도량형 (metrology) 및 테스트 (testing) 단위는 완전히 자동화되어 빠른 측정이 가능하므로 추가 분석 및 제작에 유용한 데이터를 제공합니다. 이 모델은 다양한 재료 유형을 분석 할 수 있으며 광학 (optical) 및 전기 (electrical) 매개변수 모두에서 높은 정확도를 갖습니다.