판매용 중고 WYKO / VEECO RST #160187
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ID: 160187
Optical Profiler Interferometer Microscope
TMC 63-222-6501 High-Performance Lab Table
Components Included:
(1) Wyko RST Interferometer Microscope
(1) Wyko Optical Profiler Base w/ 6” x 10⅜” Stage
(1) 0.62X Field Lens
(1) 1.0X Field Lens
(1) 1.5X Field Lens
(1) Alignment Field Lens
(1) RX2.5 Objective Lenses
(1) RX10 Objective Lenses
(1) RX40 Objective Lenses
(1) External Light Source Unit
(1) 37-Pin Wyko Control Box Ribbon Cable
(1) 4’ Fiber Optic Light Source Tube
Included in Light Source Unit:
(1) 90nm-N.D.
(1) 672.2 79nm-B.P.
(1) 462.9nm 73.6nm-B.P
(1) 501.7nm 10.3nm-B.P
Light source: External Wyko Unit
Stage: ±6° tip/tilt, ±90° rotation, ±2 in x,y
Missing one 90° Elbow fitting for vibration dampening system.
WYKO/VEECO RST 장비는 반도체 웨이퍼를 검사하고 특성화하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 파퍼 필름, 인터페이스 및 기타 레이어의 비접촉 도량형을 높은 정확도와 처리량을 제공 할 수 있습니다 (영문). 이 장치는 고급, 높은 정확도의 광학 산란계를 사용하여 접촉하지 않고 표본 웨이퍼의 특성을 측정합니다. 광학 산란계는 반사 광도 (reflected light intensity) 와 각도 분포 (angular distribution) 측정의 조합을 사용하여 나노 미터 수준에서 필름과 표면을 특성화합니다. 또한, 나노 미터 해상도로 피쳐를 측정할 수 있습니다. WYKO RST 기계는 매우 빠른 측정 주기에 대한 수요를 충족하도록 설계되었습니다. 따라서 툴이 매우 효율적이며, 안정적인 결과를 신속하게 얻을 수 있습니다. 또한 지연을 피하면서 각 웨이퍼에 대해 더 많은 측정이 가능하다는 것을 의미합니다. 고속 VEECO RST 에셋과 함께 VEECO RST 에셋은 높은 측정 정확도와 반복 기능을 제공하여 안정적인 성능을 제공합니다. 이 모델에는 빠른 데이터 분석, 자동 통과/실패 결정, 보고 기능을 제공하는 고급 소프트웨어 툴이 포함되어 있습니다. 모든 데이터는 광 산란계 (optical scatterometer) 에서 수집된 후, 쉽게 액세스하고 이해할 수 있도록 처리 및 저장됩니다. RST 장비는 또한 테스트 속도를 높이기 위해 다양한 샘플 처리 옵션을 제공합니다. 로봇 화 단계 (Robotized stage) 는 샘플을 제어 방식으로 이동하여 정확한 측정 위치에 빠르고 정확하게 배치합니다. 자동 로드/언로딩을 통해 수작업을 줄이고 전체 프로세스를 신속하게 수행할 수 있습니다. WYKO/VEECO RST 시스템은 각 사용자의 요구 사항에 맞게 조정할 수 있는 유연한 성능을 제공합니다. 포괄적인 소프트웨어/하드웨어 맞춤형 구성으로, 이 장치는 신뢰할 수 있는 테스트 및 도량형을 제공할 수 있게 되었습니다. 빠른 주기 시간과 고성능 데이터 분석 덕분에, 이 기계는 3D 도량형, 이미지 분석, 웨이퍼 검사, 표면 특성, 결함 감지 등의 애플리케이션에 적합합니다.
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