판매용 중고 WYKO / VEECO NT 9800 #9289675

WYKO/VEECO NT 9800 Wafer Testing and Metrology Equipment는 광범위한 도량형 어플리케이션에 솔루션을 제공 할 수있는 매우 다양하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 시스템은 대용량 반도체 웨이퍼를 테스트하는 데 적합하며, 재료의 물리적, 전기적 특성에 대한 자세한 분석 및 특성을 제공합니다. 이 장치는 주 머시닝 스테이션, 동력 Z축이있는 웨이퍼 스테이지, 광학 프로젝션 머신이있는 스캔 헤드, 고급 도량형 소프트웨어로 구성됩니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 는 최대 200mm 직경의 기판을 회전하여 전체 웨이퍼의 균일 한 광학 뷰를 제공합니다. 웨이퍼의 회전은 외부 컴퓨터 및 인코더 (encoder) 를 통해 제어되어 웨이퍼 표면의 정확하고, 접촉하지 않은, 데이터 포인트를 제공합니다. WYKO NT 9800 의 주요 기능 중 하나는 광 투영 도구 (Optical Projection Tool) 로, 웨이퍼를 통해 여러 사이트를 동시에 볼 수 있습니다. 고정 위치 검색 헤드 (Fixed Position Scan Head) 를 통해 디바이스는 최대 12 개 사이트에서 최대 28 개 포인트를 측정하여 병렬 뷰에서 여러 이미지를 캡처할 수 있습니다. 이를 통해 높은 수준의 정확도로 웨이퍼 지형을 신속하게 분석 할 수 있습니다. VEECO NT 9800과 함께 제공되는 고급 도량형 (Advanced Metrology) 소프트웨어는 지형, 임계 치수, 잔류 응력 프로파일 등 다양한 분석 데이터를 생성할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 복잡한 데이터 세트의 해석을 단순화하기 위해 설계된 독점 피팅 (Proprietary Fitting) 알고리즘으로 패키지됩니다. 또한, 통합 소프트웨어 개발 환경을 통해 사용자 정의 통합 이미징 (integral imaging) 분석 소프트웨어를 처음부터 구축할 수 있습니다. 마지막으로, NT 9800 은 데이터 수집 속도가 높고 환경 관리 기능이 내장되어 있어 안정성과 반복성이 매우 뛰어납니다. 통합 질소 제거 챔버 (integrated nitrogen-purged chamber) 는 재생 가능한 결과로 섬세한 웨이퍼를 측정하는 데 필요한 정확한 온도 조절 및 진동 격리를 제공합니다. 통합 사용자 관리 자산은 모든 테스트 데이터의 완전한 추적성을 제공합니다. 전반적으로 WYKO/VEECO NT 9800 Wafer Testing and Metrology Model은 광범위한 도량형 응용 프로그램을 제공하는 강력한 도구입니다. 첨단 광학 프로젝션 장비 (Optical Projection Equipment) 와 도량형 소프트웨어 (Metrology Software) 는 대용량 반도체 웨이퍼를 빠르고 반복 가능하며 정확하게 분석하는 데 이상적입니다. 또한 통합 사용자 관리 시스템은 안정적이고 추적 가능한 데이터를 보장합니다.