판매용 중고 WYKO / VEECO NT 9800 #293651547
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WYKO/VEECO NT 9800은 오늘날 가장 까다로운 반도체 프로세스 요구 사항을 해결하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최첨단 기술 노드에 적합한 제품으로, 프로세스/신뢰성 평가를 위한 포괄적인 도량형 (metrology) 기능을 제공합니다. WYKO NT 9800은 빠르고 정밀도가 높은 위치를 제공하며 평평하고 임의 모양의 웨이퍼를 모두 측정 할 수있는 5 축 측정 단계를 갖추고 있습니다. 고급 광학 시스템은 고강도, 근적외선 조명 및 고급 CCD 카메라를 사용하여 미세한 표면 지형 세부 사항을 감지하고 측정 할 수 있습니다. 첨단 동작 제어 (State-of-the-art motion control) 알고리즘은 측정 단계의 부드럽고 빠르고 정확한 이동을 보장하며 고급 동적 및 정적 측정을 허용합니다. 또한 VEECO NT 9800 은 프로세스 관련 이상을 파악하는 데 도움이 되는 다양한 분석 툴 및 테스트를 제공합니다. 서피스 거칠기, 필름 두께, 서피스 결함, 입자 수 등 다양한 매개변수를 측정, 분석, 보고할 수 있습니다. 고급 결함 이미징 기능은 운영자에게 프로세스 결과에 대한 실시간 질적 피드백을 제공합니다. 소프트웨어 측면에서 NT 9800은 유연한 테스트 관리 옵션, 빠른 테스트 실행 및 빠른 데이터 출력을 제공하도록 설계된 시스템 인 NTOS ™ (NT Operating Unit) 로 구동됩니다. 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 와 내장된 핫스왑 기능을 통해 간편한 테스트 공유, 저장, 로딩 기능을 제공합니다. 또한 다양한 통계 프로세스 제어 (statistical process control) 옵션을 지원하여 프로세스 문제를 파악합니다. 전반적으로 WYKO/VEECO NT 9800은 다목적 웨이퍼 테스트 및 도량형 툴로, 탁월한 프로세스 제어 성능을 제공합니다. 최첨단 기술 노드 제조업체를 위해 설계되었으며, 프로세스 및 안정성 평가에 대해 타협하지 않은 도량형 (metrology) 정확성을 보장합니다.
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