판매용 중고 WYKO / VEECO NT 8000 #9309123
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ID: 9309123
빈티지: 2004
Optical 3D surface profiler
With COHU 6612 Digital camera
Stitching and advanced analysis
Motorized nosepiece with objectives: 5x and 50x
Gail stage controller: 5-Axis
TMC Isolation table
DELL OptiPlex
Operating system: Windows XP
2004 vintage.
WYKO/VEECO NT 8000은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 종합적인 웨이퍼 특성, 도량형 및 프로세스 모니터링 기능을 제공합니다. 다양한 FAB 환경에서 효과적으로 작동하도록 설계된 WYKO NT 8000은 최첨단 Optics, 측정 기술, 프로세스 분석 소프트웨어 (Process Analysis Software) 를 활용하여 Fab 처리량 및 수익률을 최적화하는 고급 시스템입니다. VEECO NT8000은 최소 드리프트와 함께 초고해상도 측정을 제공하는 온축, 비접촉 광학 이미징 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 방향을 수용할 수 있으며, 가장 현대적인 직물과 쉽게 통합 할 수 있습니다. 시야가 넓고 배율이 낮은 NT 8000 은 고속 (full wafer) 이미지를 캡처하며 단일 다이 (single die) 이미지를 캡처할 수도 있습니다. 고급 조명은 밝은 필드와 어두운 필드 이미징을 모두 위한 고해상도 이미징을 제공합니다. VEECO NT 8000에는 향상된 도량형 기능도 포함되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 linwidth, sidewall angle, critical dimension (CD), zero scan of CD 및 분산 등과 같은 반도체 매개변수를 매우 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 도구는 또한 산란 측량 (scatterometry) 및 광도 측정법 (photometry) 과 같은 대체 도량형 기술을 수행 할 수 있습니다. WYKO NT8000 은 최고의 정밀도를 제공하며, 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 또한 NT8000 에는 75 nm 의 작은 결함을 감지할 수 있는 고급 결함 감지 자산이 있습니다. 밝고 효과적인 결함 감지를 위해 4 가지 고급 기술 (밝은 필드, 어두운 필드, UV 형광 및 산란 측정) 을 결합합니다. 또한이 모델은 복잡한 패턴 인식을 위해 고해상도 이미징을 사용합니다. WYKO/VEECO NT8000은 또한 향상된 프로세스 분석 소프트웨어를 제공합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 즉각적이고 정확한 프로세스 성능 분석 (process performance analysis) 을 통해 프로세스 문제를 파악하고 해결하는 데 걸리는 시간을 최소화할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 정교한 wafer-to-wafer 비교 도구와 사용자 친화적 데이터 액세스를 위한 드래그 앤 드롭 (drag-and-drop) 그래픽 사용자 인터페이스가 포함되어 있습니다. WYKO/VEECO NT 8000은 Fab 처리량 및 수율을 최대화하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 광학 이미징 기능, 도량형 (metrology) 기능, 프로세스 분석 소프트웨어 등을 통해 다양한 반도체 매개변수를 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 향상된 결함 감지 시스템 (Enhanced defect detection system) 을 통해 효과적인 결함 감지 및 프로세스 성능 분석을 수행할 수 있습니다. 이러한 모든 기능과 기능을 통해 WYKO NT 8000은 유능한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다.
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