판매용 중고 WYKO / VEECO NT 8000 #9309092
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ID: 9309092
빈티지: 2005
Optical 3D surface profiler
With BASLER A311f Digital camera
Stitching and advanced analysis
Motorized nosepiece with objectives: 5x and 50x
Gail stage controller: 5-Axis
TMC Isolation table
DELL OptiPlex
Operating system: Windows XP
2005 vintage.
WYKO/VEECO NT 8000은 반도체의 전기 및 물리적 특성을 측정하기 위해 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 시스템은 SEM 주사 전자 현미경, TEM 전송 전자 현미경, AFM 원자력 현미경 및 FTIR 푸리에 변환 적외선 분광과 같은 다양한 주사 옵션을 제공합니다. 이러한 모든 스캔 옵션을 사용하면 전류 밀도 매핑, 커패시턴스 전압 (capacitance-voltage), 스트레스 매핑 (stress mapping) 과 같은 고급 측정을 통해 고급 웨이퍼 진단을 수행할 수 있습니다. WYKO NT 8000은 스캐너 및 어플리케이션에 따라 최대 200mm 크기의 대용량 스캐닝 용량 (해상도 최대 10äm) 을 제공합니다. 이것은 대형 웨이퍼의 테스트 및 도량형에 최적화되었습니다. VEECO NT8000은 다양한 분석 기능도 제공합니다. 웨이퍼 두께 측정, 표면 거칠기 및 지형도 모두 사용할 수 있으며, 다크 필드 TEM 이미징 및 에너지 분산 엑스선을 사용한 화학 분석도 가능합니다. WYKO/VEECO NT8000은 빠르고 효율적인 웨이퍼 테스트를 용이하게하도록 설계된 자동 샘플 처리 시스템을 갖추고 있습니다. 다양한 기판 크기와 컨테이너 유형을 수용하도록 구성할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 기반의 간편한 프로그래밍 기능을 통해 대용량 배치를 자동으로 안정적으로 분석할 수 있습니다. NT 8000 은 정확하고 반복 가능한 측정이 가능하도록 설계되었습니다. 고속, 고해상도 (High Resolution), 고해상도 (High Throughput) 를 통해 빠르고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다. 또한, 고급 분석 기능을 사용하여 프로세스 수익률 및 신뢰성을 향상시킬 수 있습니다.
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