판매용 중고 WYKO / VEECO NT 8000 #293824503

WYKO/VEECO NT 8000은 반도체 웨이퍼에 대한 비접촉, 비파괴적 분석을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 데이터 획득 및 분석 (analysis) 프로세스를 자동화하여 웨이퍼 측정의 정확성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. WYKO NT 8000은 3 축 공기 베어링 포지셔닝 시스템에 장착 된 WYKO 광학 헤드를 사용하여 웨이퍼의 지형 및 광학 데이터를 모두 얻습니다. VEECO 광학 헤드는 광학 간섭을 사용하여 표면 지형을 측정하는 레이저 스캐닝 간섭계를 사용합니다. 이 간섭계 (interferometer) 는 웨이퍼 표면을 가로 질러 고도로 집중된 레이저 빔으로 스캔하여 일련의 단면 이미지를 생성합니다. 그런 다음 이미지를 분석하여 웨이퍼의 각 피쳐의 지형을 결정합니다. 이 정보는 서피스 황삭, 단계 높이, 임계 치수 및 기타 중요한 프로세스 매개변수를 계산하는 데 사용됩니다. TheNT 8000은 "Triple Beams" 기술과 함께 고급 optics 및 3 차원 데이터 획득을 사용하여 웨이퍼의 앞면과 뒷면을 동시에 측정합니다. 또한 환경 검사 전자 현미경 (ESEM) 기능을 통합하여 웨이퍼에서 매우 작은 기능을 분석 할 수 있습니다. VEECO NT8000 은 획득한 데이터를 처리하는 광범위한 데이터 분석 툴을 제공합니다. AIA (Advanced Image Analysis Suite) 는 이미지에서 측정을 추출하고 획득한 데이터의 스펙트럼 분석을 위한 이미지 처리 도구입니다. 또한 SR (Spectral Resolution) 소프트웨어를 사용하면 획득한 데이터의 스펙트럼 내용을 정량화할 수 있습니다. WYKO NT8000은 산란 된 빛, 각도 산란 측량 및 3D 석판 지형 측정 기능과 같은 고급 도량형 기술을 제공합니다. 또한 고급 기능 맞추기 기능을 제공하는 특수 피쳐 측정 모듈 (specialized feature measurement module) 이 포함되어 있으며, 이 모듈은 웨이퍼의 복잡한 3D 모양이나 지형을 측정하는 데 사용할 수 있습니다. WYKO/VEECO NT8000은 표준화 된 (공기 또는 클린 룸) 및 UHV (Ultra-High Vacuum) 를 포함한 비표준 등 다양한 산업 환경에서 작동하도록 설계되었습니다. 반도체 업계의 품질 관리 (Quality Control) 및 프로세스 최적화 작업을 위한 이상적인 도구입니다.