판매용 중고 WYKO / VEECO NT 3300 #9394877
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WYKO/VEECO NT 3300은 반도체 제조에 사용하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 나노 스케일 해상도 스캐닝 현미경 (nanoscale resolution scanning microscope) 은 1 나노 미터 (nanometer) 정도의 해상도로 이미지를 캡처하여 높은 정밀도로 측정 할 수 있습니다. 또한 자동화된 다각도 서피스 프로파일 측정 장치 (multiple-angle surface profile measurement unit) 를 사용하여 사용자가 주어진 서피스의 3 차원 맵을 캡처 할 수 있습니다. WYKO NT 3300은 현미경 기능 외에도 자동 웨이퍼 테스트 시스템 제품군을 갖추고 있습니다. 여기에는 중요한 치수 측정, 토폴로지 분석, 오염 감지, 오버레이 측정 및 기울기/회전 측정을위한 시스템이 포함됩니다. 자동 웨이퍼 (automated wafer) 테스트 시스템은 여러 웨이퍼를 동시에 측정하여 프로세스 제어 (process control) 측정을 완료하는 데 소요되는 시간을 대폭 줄일 수 있습니다. VEECO NT 3300에는 기울기/회전 단계 (tilt/rotation stage) 도 포함되어 있습니다. 이 단계를 통해 사용자가 표면을 더 잘 볼 수 있도록 샘플을 회전하거나 기울일 수 있습니다. 이 기능은 MEMS 또는 RF/microwave 구성 요소와 같은 3 차원 샘플을 측정하는 데 특히 유용합니다. NT 3300 에는 내장형 이미지 분석 소프트웨어 패키지가 있는데, 이 소프트웨어 패키지는 기계의 현미경으로 캡처된 이미지를 분석하는 작업을 자동화합니다. 이 이미지 분석 소프트웨어 (image analysis software) 는 웨이퍼 (wafer) 표면의 결함을 감지하는 데 사용되므로 사용자가 문제 영역을 신속하게 식별할 수 있습니다. WYKO/VEECO NT 3300은 프로세스 제어 측정을위한 강력하고 효율적인 도구로 설계되었습니다. 나노 스케일 해상도 현미경은 상세한 이미지와 측정을 제공하는 반면, 자동 웨이퍼 테스트 시스템 (automated wafer testing system) 은 단일 작업으로 여러 웨이퍼를 테스트 할 수 있습니다. 통합 이미지 분석 (Integrated Image Analysis) 소프트웨어는 웨이퍼의 결함을 식별하는 데 유용한 도구이기도 합니다. 기울기/회전 단계 (tilt/rotation stage) 는 복잡한 샘플의 뷰 개선을 통해 공구의 기능을 더욱 향상시킵니다.
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