판매용 중고 WYKO / VEECO NT 3300 #9309117
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ID: 9309117
Optical 3D surface profiler
DELL OptiPlex
Operating system: Windows XP
Vision 3.6 with stitching and advanced analysis
COHU 6612 Camera
Motorized nosepiece with 5x and 50x objective
Compumotor stage driver
8 x 8 Stage
TMC Isolation table included.
WYKO/VEECO NT 3300은 반도체 및 MEMS 장치의 전기, 광학 및 기계적 특성을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. wafer 또는 개별 샘플에서 개별 디바이스의 정확한 측정 및 분석을 가능하게 합니다. 이 장치에는 3축 수직 동작 (Z축) 단계와 4축 수평 회전 (XYØ) 단계가 있어 빠르고 정밀한 웨이퍼 매핑 및 프로파일링이 가능합니다. 포인트 바이 포인트 프로파일링, 영역 매핑, 라인별 매핑, photoshop 통합 등 다양한 고해상도 샘플 매핑 및 측정 옵션을 제공합니다. 이 시스템은 서피스 거칠기, 웨이퍼 두께, 서피스 지형 (surface topography) 과 같은 재료 특성과 시트 저항, 장치 커패시턴스, 누출 전류 등의 전기 특성을 측정 할 수 있습니다. 또한 자동 입자 수, 집중 이온 빔 이미징, 자동 스텝 높이 측정 및 자동 오버레이 측정을위한 기술이 내장되어 있습니다. 이 장치에는 직관적이고 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스가 있어 HTML, PDF 형식과 같은 다양한 데이터 내보내기 및 보고서 작성 옵션을 사용할 수 있습니다. 데이터 처리 툴을 사용하면 웨이퍼 또는 디바이스 데이터를 정량화, 비교, 분석, 시각화할 수 있습니다. 이 기계는 다른 테스트 시스템과의 통합을 포함하여 다양한 맞춤형 (customization) 옵션을 제공합니다. 또한, 이 도구에는 설정 최적화, 기능 정렬, 반복 가능한 테스트 (initiating repeable test) 를 위한 여러 가지 고급 자동화 기능이 있습니다. 하나의 측정에서 다음 측정으로 자동 전환 (automatically transition) 하도록 설정할 수 있으며, 단일 실행에서 최대 128 개의 웨이퍼 (wafer) 까지 자동 배치 테스트가 가능합니다. 전반적으로, WYKO NT 3300은 신뢰성, 정확성, 효율성이 높은 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형 자산으로, 광범위한 어플리케이션에 종합적인 데이터를 제공할 수 있습니다. 고급 자동 (automated) 기능을 통해 자동 웨이퍼 및 장치 특성화에 이상적인 옵션을 선택할 수 있습니다.
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