판매용 중고 WYKO / VEECO NT 3300 #9304712
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ID: 9304712
빈티지: 2004
Optical 3D surface profiler
Measurement technique:
Optical phase-shifting
White light vertical scanning
Interferometry
Measurement capability:
Three-dimensional
Non-contact
Surface profile measurements
COHU 1100 Analog camera
With digital interface board
Digital swap compatible res for 3300: 6612
Camera array size for 3300: 640 x 480
Upgraded LED for 3300
Objectives: 1.5x, 2x
Measurement array:
Maximum array: 736 x 480
Standard: 1000 x 1000
Light source: Tungsten halogen
Lamp: Automated filter selection
Stages:
Manual: ± 2"
X/Y Translation: 200 mm (± 50.8 mm)
Rotation: ± 90°
Tip / Tilt: ± 6°
Options:
Automated: ± 4" (101.6 mm)
X/Y Translation
Automated R/f
Rotation: 360°
Radius: 4" / 8" (101.6 mm / 203.2 mm)
Tip / Tilt head: Motorized / Automated
Optical assembly:
Integrated
Computer-controlled illuminator
Automated discrete zoom with magnification sensing
Automated stages
Closed-loop precision vertical scanning assembly
RS170 Video display: 230 mm
PC Computer
Processor: Pentium
SVGA Monitor, 17" (430 mm)
Live image stays up on SVGA through measurement
Processor: G5
Computer: Windows XP
(24) Monitors
Advanced analyzer
Stitching
Fast automation
GALIL 4-Axis controller
Stage: 8 x 8
Motorized nosepiece
With objective: 5x, 50x
LED Illumination
Performance:
Vertical measurement range:
Standard: 0.1 nm to 1 mm
Vertical resolution: <1A Ra
RMS Repeatability: <0.01 nm
Scan speed:
Standard: Up to 7.2 µm/sec (288 µin./sec)
Lateral spatial sampling: 0.08 to 13.1 µm
Field of view: 8.24 mm to 0.05 mm
Maximum slope: 25° to 1.8°
Reflectivity: 1% to 100%
Environment:
Temperature range: 15° to 30°C (59°F to 86°F)
Non-condensing humidity range: <80%
Power requirements:
Compressed air: 60 - 100 PSI
Input voltage: 100-120 VAC / 200-240 VAC, 50/60 Hz
Power consumption: <300 W
With stage: <400 W
2004 vintage.
WYKO/VEECO NT 3300은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로 웨이퍼 및 기타 박막 재료의 구조와 품질을 검사하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 다양한 특수 컴포넌트 (specialized component) 를 통합하여 다양한 샘플 유형을 분석할 수 있습니다. WYKO NT 3300은 각각 공간 및 각도 정확도 (0.1 °) 로 측정 할 수 있으며 직경이 최대 300mm 인 웨이퍼 이상에서 측정 할 수 있습니다. 이 장치는 두께가 50 m 인 박막 장치를 검사하기위한 다양한 고급 이미징 기술을 제공합니다. 이미징 (Imaging) 옵션은 다양한 조명 조건에서 이미지를 캡처할 수있는 고정밀 (High-Precision) 카메라를 기반으로 합니다. 예를 들어, 기계는 브라이트필드 (brightfield) 에서 다크필드 이미징 (darkfield imaging) 으로 전환하여 그렇지 않을 수 있는 결함을 감지할 수 있습니다. 또한, 자외선, 적외선과 같은 보이지 않는 파장에서 스캔하여, 표면에 대한보다 포괄적 인 범위를 제공 할 수 있습니다. VEECO NT 3300은 고속, 고해상도 현미경을 자랑합니다. 그 설계에는 전동 정밀 단계 (Motorized Precision Stage) 와 자동 초점 기술 (Auto-focusing technology) 이 포함되어 있어 특정 위치에서 샘플을 빠르게 이동하거나 집중할 수 있습니다. 이 도구는 또한 다양한 광학 장치 (optics) 와 호환되며, 각 측정 및 이미징 작업에 대해 최상의 배율을 선택할 수 있는 옵션을 제공합니다. NT 3300은 이미징 기능 외에도 표면 프로파일로미터, 3 차원 이미징 도구를 포함한 고급 분석 도구를 갖추고 있습니다. 프로파일로미터는 표면 지형 (surface topography) 의 프로파일을 매우 정밀하게 측정하여 서피스 마무리, 거칠기 (roughness) 및 기타 샘플 세부 사항을 평가할 수 있습니다. 3 차원 이미징 기술을 사용하면 여러 축 평면에서 샘플 피쳐를 시각화할 수 있습니다. 결론적으로 WYKO/VEECO NT 3300은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 강력하고 다재다능한 자산입니다. 정밀 이미징 (precision imaging) 및 분석 도구 (analytical tools) 는 샘플 구조와 품질에 대한 정확하고 상세한 통찰력을 제공하여 결함의 감지 및 최적화 및 프로세스 관련 문제를 제공합니다.
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