판매용 중고 WYKO / VEECO NT 2000 #9395158

ID: 9395158
Optical profiler.
WYKO/VEECO NT 2000 (WYKO/VEECO NT 2000) 은 단일 스캔에서 여러 레이어의 재료를 측정하고 특성화하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. WYKO NT 2000은 고급 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소를 사용하여 빠른 이미징과 표면의 정확한 분석을 허용합니다. 이 시스템은 다중 주파수 간섭 현미경 (Multi-Frequency Interference Microscopy) 을 사용하여 사이드월 및 특징을 포함한 미세 구조의 고해상도 지형 이미지를 생성합니다. 이 소프트웨어는 또한 피크 감지 (peak detection) 및 피팅 (fitting) 알고리즘을 사용하여 광범위한 임계 치수를 정확하게 측정합니다. 자동 스티칭 모듈 (automated stitching module) 을 추가하여 더 큰 시야를 측정할 수 있으며, 더 큰 정확도와 속도를 제공합니다. VEECO NT 2000에는 광범위한 도량형 옵션이 포함되어 있습니다. 복잡한 3D 기능을 측정하기위한 고해상도 레이저 스캔 광학 프로파일러가 있습니다. 또한 나노 미터 두께 범위에서 박막을 측정하기위한 간섭계 (interferometer) 와 회절계 (diffractometer) 도 포함됩니다. 또한 광학 상수 (굴절률 및 소멸 계수) 와 같은 박막의 광학적 특성을 측정하기위한 타원계가 포함되어 있습니다. NT 2000 은 배치 (batch) 생산 도량형 요구 사항에 대한 높은 처리율과 정확성을 유지하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 자동화 및 프로그래밍을위한 독점 소프트웨어 패키지도 제공됩니다. 이를 통해 테스트 레시피 (recipe) 를 간편하게 실행할 수 있으며, 한 번에 여러 웨이퍼에서 데이터를 수집할 수 있습니다. WYKO/VEECO NT 2000은 반도체 제조 공정 제어를 위한 강력한 도구입니다. 고해상도 이미징 데이터, 정확한 도량형 결과, 가장 많이 사용되는 자동 프로버와의 완벽한 호환성 등을 제공합니다 (영문). 또한 신뢰성이 높고 사용하기 쉽습니다. WYKO NT 2000은 정확한 자동 배치 생산 도량형에 적합한 선택입니다.
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