판매용 중고 WYKO / VEECO NT 2000 #88213
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ID: 88213
빈티지: 1990
Optical profiler
Optical Phase-Shifting and Vertical Scanning Interferometry (VSI and PSI mode), Auto Focus
6"x6" X, Y Stage
Motorized Tip/Tilt stage
Motorized Filter
Objectives:
Mirau 5.0X interf objective lens (Optional 50.0X)
FOV: 1X, .75X, A (Optional .4X or .5X)
Auto Sensing 4-position Motorized Turret, Field of View variable up to 8mm
Stage: X/Y 6"x6", 6° Tip/Tilt, fully motorized for automated surface measurements
Auto Focus module included (Optional from Veeco)
Light Source: Tungsten halogen Lamp, automated filter selection
Video Display: 9 in. (230mm) Black and White monitor
Computer System: PC with Pentium Pro. Processor. SVGA monitor (LCD included)
Software: Wyko Vision-32 under Windows XP-Pro
Vertical: 0.1nm to 150 um, measure range to 2mm (.0.08 in.); Vertical Res. < 1 A Ra. Scan speed up to 7.2um/sec
Applications:
Functional surfaces, Alum. & Steel, Ceramics, Plastics, Films, Foil, Flip-Chip, Semiconductor, Optics, Coatings, Fiber, Flexo, Silicon Sensors, Biomedical, Photo resist.
Active TMC isolation table is available at additional cost
Unit has been calibrated.
WYKO/VEECO NT 2000은 반도체 재료의 전기 특성을 정확하게 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. WYKO NT 2000은 전기 매개변수의 정확한 제어 및 측정을 제공하여 제조 공정을 최적화하고 웨이퍼 수율을 개선하는 데 도움이 될 수 있습니다. VEECO NT 2000에는 정확한 미세 모션 제어 및 고해상도 고속 비전 시스템이 포함 된 다중 축 동작 테이블이 있습니다. 또한 고정밀도 기계식/전기식 모터를 사용하여 웨이퍼의 위치와 움직임, 전기적 특성 등을 정확하게 제어할 수 있습니다 (영문). 이 장치에는 높은 정확도의 광학 센서가 장착되어 있으며, 이는 0.1 미크론의 정확도로 웨이퍼 특성을 측정합니다. NT 2000 은 자동 (automated) 및 수동 (manual) 작업을 모두 지원하므로 운영 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 기계는 광범위한 광/전기 측정 (optical/electrical measurement) 기술을 포함하여 강력한 데이터 획득 및 분석 도구를 갖추고 있습니다. 이 도구는 시각 검사 (Visual Inspection) 에서 고급 전기 측정 (Advanced Electrical Measurement) 에 이르기까지 다양한 테스트 절차를 수행 할 수 있으므로 정밀 도량형에 적합합니다. 여기에는 표면 매핑, 시트 저항 측정, 전류 전압 (I-V) 특성 및 유전체 특성 분석이 포함됩니다. 고급 알고리즘과 통계 방법을 사용하여 WYKO/VEECO NT 2000은 웨이퍼 장애를 일으킬 수있는 작은 결함 및 크기 변형을 정확하게 감지 할 수 있습니다. WYKO NT 2000은 최대 400 ° C의 온도에서 웨이퍼를 테스트 할 수 있으며 Gallium arsenide (GaAs), Indium phosphide (InP) 및 Silicon (Si) 을 포함한 다양한 유형의 웨이퍼와 함께 사용할 수 있습니다. 광범위한 자동 설정 (automated settings) 을 통해 제조 공정에서 빠르고 정밀도가 높은 도량형에 이상적입니다. VEECO NT 2000의 고급 설계로 다양한 복잡한 측정이 가능합니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 고급 데이터 스토리지 (advanced data storage) 기능으로 운영 및 유지 보수가 용이합니다. NT 2000 은 반복 가능하고 신뢰성 있는 성능을 제공하며, 광범위한 재료와 프로세스 (process) 에서 사용할 수 있습니다. 반도체 (반도체) 제조업체와 기기업에게 꼭 필요한, 강력하고 다양한 도구다.
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