판매용 중고 WYKO / VEECO NT 1100 #9409914
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WYKO/VEECO NT 1100은 웨이퍼 테스트 및 도량형 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 비 접촉, 3 축 스캔 결정 시스템입니다. 고급 옵틱 (Optic), 자동 스테이지 제어 (Automated Stage Control) 및 특허를 획득한 스캐닝 소프트웨어를 결합하여 사용자가 Wafer 수준의 이미징, 분석 및 장치 특성 제어를 위한 전례없는 기능을 제공합니다. WYKO NT 1100은 하위 나노 미터 XY 단계를 사용하여 와퍼를 광학 경로에 정확하게 배치하여 나노 미터 정확도로 3D 데이터를 수집 할 수 있습니다. 이 시스템의 고급 광학 패키지 (advanced optics package) 에는 다양한 크기의 피쳐를 정확하게 이미징 및 분석하는 레이저 소스와 렌즈 (lenses) 가 포함되어 있습니다. VEECO NT1100 은 최대 8 개의 광 미디어 및 2 개의 고속 컨버전스 각도를 활용하는 트윈 (twin) 광 헤드 (optical head) 어셈블리를 통해 빠르고 정확한 스캐닝 및 웨이퍼 측정을 보장합니다. 사용자 친화적 인 통합 웨이퍼 도량형 (wafer metrology) 및 분석 소프트웨어를 통해 사용자는 손쉽게 데이터를 수집하고, 이미지를 획득하며, 탁월한 정확도로 도량형 및 웨이퍼 특성을 측정할 수 있습니다. 통합 시스템은 또한 장치 특성에 대한 정확한 제어를 제공합니다. 여기서 사용자는 프로세스 매개 변수를 지정하여 웨이퍼가 초점, 평평, 두께, 저항성, 도펀트 농도, 표면 영역, 기울기 등의 원하는 특성을 충족하도록 할 수 있습니다. WYKO/VEECO NT1100의 통합 프로세스 제어 기능은 반도체 및 MEMS, 자동차 및 소비자 산업에 광범위하게 적용되었으며, 사용자는 웨이퍼 테스트 및 도량형 측면에서 전례없는 수준의 정확성을 달성 할 수 있습니다. 또한 WYKO는 자동 매핑 시스템, 로드 포트, 이온화/증착 도구 (ionization/deposition tool) 와 같은 옵션 장비를 통해 웨이퍼 처리 및 분석 기능을 최대한 활용할 수 있도록 지원합니다. 정밀도 (precision) 와 정확도 (accuracy) 의 독특한 조합으로, NT 1100은 오늘날의 최신 제조 환경에서 높은 수준의 품질 제어를 실현하는 강력한 도구입니다. NT1100 은 고해상도, 3D 데이터를 빠르고 정확하고 안정적으로 캡처하여 Wafer 테스트 및 Metrology 애플리케이션의 워크플로우를 간소화합니다.
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