판매용 중고 WYKO / VEECO NT 1100 #293618484

ID: 293618484
Optical profiling system.
WYKO/VEECO NT 1100은 반도체 웨이퍼 제조 및 재료 연구를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼의 서피스 컨투어 (surface contour) 및 전기, 광학, 기계적 특성 (electrical, optical, and mechanical properties) 을 검사하는 다양한 분석 기능을 제공합니다. WYKO NT 1100은 저력 캔틸레버 (cantilever) 어셈블리를 사용하여 표면 평면도와 프로파일을 정확하게 측정하는 고정밀 자동 스캐닝 프로브 현미경 (SPM) 을 특징으로합니다. 이것은 웨이퍼 표면의 자세한 이미지를 캡처하는 데 사용할 수있는 디지털 이미징 장치 (digital imaging unit) 에 의해 보완됩니다. 별도의 도량형 기계는 광학 간섭계 (interferometric) 기술을 사용하여 웨이퍼 두께, 평면도 및 표면 거칠기를 정확하게 측정합니다. VEECO NT1100은 또한 다양한 전기 테스트 기능을 제공합니다. 여기에는 매우 정확한 시트 저항 측정을위한 4 점 프로브 도구, 커패시턴스 대 전압 특성화를위한 커패시턴스 미터, 전류 전압 및 커패시턴스 전압 데이터 추출을위한 전류/전압 소스가 포함됩니다. 또한, 에셋은 초 보라색 및 가시 광원, 전체 스펙트럼 광원, 웨이퍼 추적을위한 자동 정렬 모델 (automated alignment model) 을 포함하여 광범위한 광학 측정을 제공합니다. 이 장비는 모듈식 (modular) 아키텍처로 설계되어 운영 라인의 프로세스 툴과 손쉽게 통합할 수 있습니다. 이 제품은 매우 정확한 정밀 동작 제어 (precision motion control), 통합 진단, 광범위한 데이터 통신 기능 등 다양한 고급 기능을 갖추고 있습니다. VEECO NT 1100은 또한 웨이퍼 조작을위한 강력한 모터를 갖추고 있으며, 빠르고 정확한 웨이퍼 로딩 및 처리가 가능합니다. NT 1100 은 연구실에서의 성능 외에도 자재 연구 및 디바이스 개발 자동화 (automation in materials research and device development) 에도 적합하다. 개방형 아키텍처 (open architecture) 를 통해 손쉽게 사용자 정의할 수 있으며, 이를 통해 애플리케이션 개발자는 신속하게 실험을 설계하고 실행할 수 있습니다. WYKO NT1100 은 원격 및/또는 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 제어할 수 있으므로, 원격 사이트에서 쉽게 사용할 수 있습니다. 전반적으로 WYKO/VEECO NT1100은 광범위한 웨이퍼 테스트 및 도량형 애플리케이션에 이상적인 선택입니다. 모듈식 (Modular) 설계를 통해 각 애플리케이션의 고유한 요구 사항에 손쉽게 적응할 수 있으며, 고급 (Advanced) 기능의 호스트는 최고 수준의 성능을 보장합니다.
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