판매용 중고 WYKO / VEECO NT 100628 #9105204

WYKO/VEECO NT 100628은 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 도핑 레벨, 다이 크기, 스텝 높이, 스트레스 프로파일, 기타 반도체 특성 등 웨이퍼 제작과 관련된 다양한 매개변수를 측정하도록 설계되었습니다. WYKO는 특허를받은 비 접촉 광학 프로파일 로메트리 (non-contact optical profilometry) 기술을 사용하여 극도의 정확도로 다양한 표면 지형을 결정합니다. 이것은 FE-SEM (Field Emission Scanning Electron Microscope) 과 함께, 웨이퍼 제작과 관련된 포괄적 인 테스트 및 도량형 기능을 제공합니다. 시스템 구성 요소에는 WYKO NT 100628을위한 DBA (Data Acquisition Unit) 환경 인클로저, 광학 위상 시프터, 현장 방출 스캐닝 전자 현미경 (FE-SEM), 비브로 음향 검사 및 다양한 샘플 및 스테이지 조작 시스템이 포함됩니다. 웨이퍼의 이동 및 조작을 위해 Z축 포지셔너가 포함됩니다. 이 장치는 z 방향으로 최대 50mm 이동할 수 있으며, 테스트 및 도량형 작업 중에 정확하고 안정적인 샘플 정렬을 제공합니다. VEECO NT 100628의 FE-SEM은 자동화된 이미지 최적화, 스펙트럼 맵 스캐닝 (이미지 대비 향상), 다양한 배출 전류 수준 (emission current level) 과 같은 다양한 기능으로 백업되는 독보적인 이미지 해상도 및 세부 사항을 제공합니다. 이 단위는 기판 매개변수 또는 피쳐 크기에 관계없이 정확한 웨이퍼 특성 측정을 제공할 수 있습니다. NT 100628 의 광 머신에는 절대 높이 또는 깊이 프로파일, 횡단면 깊이 제어 기능이있는 횡단면 이미징, 자동 설계 프로파일링 (Automated Design Profiling) 등의 스캐닝 옵션이 포함되어 있습니다. VEECO Vibro-Acoustical Scanner (VAS) 는 고유하게 개발 된 알고리즘을 사용하여 형태 학적 특징과 치수를 측정합니다. WYKO/VEECO NT 100628에는 ALTP (Automated Layer-Thickness Profiler) 가 있으며, 이 프로파일러는 웨이퍼에 있는 레이어의 두께를 측정하는 데 사용됩니다. 전반적으로 WYKO NT 100628 (WYKO NT 100628) 은 반도체 웨이퍼의 정확하고 안정적인 검사, 분석 및 특성화를위한 포괄적인 기능을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. Optical, FE-SEM, Vibro-Acoustical Scanning 기술을 결합한 제품으로, 다양한 자동 기능을 통해 데이터 수집 및 분석 속도를 높일 수 있습니다. VEECO NT 100628 (VEECO NT 100628) 은 가장 까다로운 반도체 생산 및 연구 환경의 요구 사항에 답하도록 설계된 견고하고 신뢰할 수 있는 자산입니다.