판매용 중고 WYKO / VEECO 600 #9234535

WYKO/VEECO 600은 제품 평가의 속도와 정확성을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 원자력 현미경 (AFM) 및 SEM (Scanning Electron Microscopy) 과 같은 다양한 측정 기술을 사용하여 임의의 기하학의 반도체 웨이퍼를 분석하기위한 프론트 엔드 도구입니다. 이 제품은 리소그래피, 증착, 반응성 이온 에칭 (reactive ion etching) 및 반도체 제조를위한 기타 프로세스의 전체 범위에 걸쳐 빠르고 정밀도가 높은 측정 기능을 제공합니다. 이 장치는 WYKO Instruments 브랜드를 통해 인수 한 검사를위한 특허 광학 도량형 설계를 가지고 있습니다. 이 광학 기계에는 비스듬한 광원과 통신 렌즈 (telecentric lens) 도구가 포함되어 있으며, 둘 다 측정 정확도를 향상시킵니다. 자산에는 스캔을위한 이중 XYZ 스캔 모델과 반복 가능한 XY 또는 XYZ 프로브도 장착되어 있습니다. WYKO 600은 또한 실패 분석을 위해 웨이퍼 표면의 기능 수준 가시성을 제공합니다. 하드웨어 및 소프트웨어를 통합하여 웨이퍼 표면의 고해상도 이미지를 측정, 분석, 비교합니다. 이 장비를 사용하면 입자 분석 소프트웨어 (particle analysis software) 를 사용하여 웨이퍼 표면의 여러 위치에서 데이터 수집을 자동화할 수 있습니다. 이 시스템에는 200 또는 500nm 해상도와 특수 측정 기능을 갖춘 강력한 작동 모드가 장착되어 있습니다. 이러한 작업 모드에는 해상도 향상을 위한 동작 교정 (Motion Correction), 모서리 문제 복제 (Edge Problem Duplication) 및 측정 명상 (Measurement Meditation) 이 있습니다. MTS (Multi Target Scanning) 기능을 통해 기능의 균일성을 모니터링하고 프로세스 안정성과 제품의 일관성을 파악할 수 있습니다. VEECO 600은 강력한 기능을 갖춘 다목적 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 속도, 정확성, 편의성을 위해 설계되었으며, 많은 제조 공정을 최적화하기 위해 사용될 수 있습니다. 반도체 웨이퍼 기하학의 조사 및 분석에 이상적인 도구입니다.