판매용 중고 WYKO / VEECO 3306 #293650078

WYKO/VEECO 3306 (WYKO/VEECO 3306) 은 모든 반도체 웨이퍼의 물리적 속성을 제어 및 측정할 때 탁월한 정확성과 성능을 제공하는 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 패턴화된 선 (patterned line) 과 같은 웨이퍼의 다양한 특성을 측정하고 광학 특성 (optical properties) 과 이미지 해상도 (image resolution) 를 분석합니다. WYKO 3306 장치는 광학, 검출기, XYZ 단계 및 기타 관련 전자 장치를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 기계가 사용하는 광학은 무채소 (achromatic) 와 원격 중심 (telecentric) 으로, 반복 가능하고 정확한 측정을 보장하는 최고의 이미지 품질을 제공합니다. 기계에 장착 된 탐지기 (detector) 와 XYZ 단계 (XYZ stage) 는 매우 정확하고 정밀하게 설계되어 공구 전체의 정확성을 보장하는 데 도움이됩니다. 웨이퍼 테스트/측정에 사용되는 기술은 산란 측량 (scatterometry) 을 기반으로하는 기술이며, 이는 빛 회절의 한 형태입니다. VEECO 3306은 설계 레이어의 선 너비 (line width) 를 측정할 수 있으며, 샘플 웨이퍼에 대한 구조 피쳐, 스캔 영역 등을 측정할 수 있습니다. 에셋은 완료 후 웨이퍼 (wafer) 에서 보이지 않는 피쳐를 측정하여 에치 (etch) 프로세스 결과의 품질을 확인할 수도 있습니다. 이 모델은 샘플의 구조 깊이 (depth of structure) 와 구조의 측면 각도 (sidewall angle) 및 프로파일 (profile) 을 정확하게 측정할 수 있으므로 설계 결과가 어떻게 이루어질지 정확하게 예측할 수 있습니다. 3306은 2 ~ 3픽셀 (2 ~ 3픽셀) 정도의 결함을 자동으로 식별할 수 있으므로 테스트 및 도량형과 관련하여 최상의 품질을 제공합니다. 또한 단계 높이, 프로파일, 이미지 강도 변화 등의 3D 구조 정보를 측정할 수 있습니다. WYKO/VEECO 3306 (WYKO/VEECO 3306) 은 모든 반도체 웨이퍼의 물리적 속성을 제어 및 측정할 때 뛰어난 정확성과 성능을 제공 할 수있는 다용도 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼의 품질을 정확하게 측정, 분석, 검증해야 하는 사용자에게 적합한 솔루션을 제공합니다.