판매용 중고 VIEW ENGINEERING / GENERAL SCANNING Voyager V18x18 #9231379

VIEW ENGINEERING/GENERAL SCANNING Voyager V18x18은 반도체 산업을위한 도량형 및 품질 보증 솔루션 분야의 글로벌 리더 인 KLA-Tencor가 개발 한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. VIEW ENGINEERING V18x18은 종합적인 도량형, 지형 및 문제 해결 도구를 제공합니다. 고급 광학 레이아웃은 3 개의 다른 측정 필드를 조합하여 뛰어난 이미징 기능을 제공합니다. 균일 한 필드 디자인은 단일 램프 (lamp) 로 최적의 범위를 보장하는 반면, 육각형 필드 디자인은 광시야각 (field-of-view) 에 비해 더 선명한 이미지를 제공합니다. 특히 자동화된 프로세스에 적합합니다. KLA-Tencor의 독점 진공 게이지 시스템을 기반으로 GENERAL SCANNING Voyager V18x18은 최대 5mm 깊이의 높은 정확성과 단일 렌즈 측정을 제공합니다. 이 장치는 유연한 경로를 위해 자동 영역 범위 범위 측정 및 스티칭을 제공합니다. 또한 자동화된 오명 및 자동 MTF (modulation transfer function) 수정 설정을 통해 프로세스 특성을 최적화할 수 있습니다. 이 툴의 개방형 아키텍처는 사용자가 다양한 툴과 뷰 (view) 유형을 전환할 수 있도록 하여 유연성을 제공합니다. 고급 3D 도량형 모드는 최대 안정성 판독값과 샘플-샘플 (sample-to-sample) 또는 공구-공구 (tool-to-tool) 를 조정하여 정확도를 높입니다. 고속 포지셔닝 및 동작 제어 에셋은 고급 병렬 처리 센서를 제공하여 자동 병렬 처리 (parallelism adjust) 및 실제 측정 (true measurement) 을 허용합니다. 이 모델은 고급 레벨 스캐닝 및 매핑을 위해 미리 결정된 개입 지점에 사용할 수 있습니다. 활성 확대/축소 모듈은 정밀도 해상도와 안정성을 향상시켜 최대한의 정확도를 제공합니다. Voyager V18x18 장비는 자동 상관 관계 차트, 포괄적인 적용 범위 분석 맵, 측정 격리, 3D 분산 맵 등 다양한 보고 기능을 제공합니다. 다양한 검색, 수동 수정, 향상된 자동화 (automation) 기능을 갖춘 이 시스템은 완전 자동화 프로세스를 위한 최적의 솔루션을 제공합니다. 전반적으로 VIEW ENGINEERING/GENERAL SCANNING Voyager V18x18은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치이며, 뛰어난 광학 디자인, 높은 정확도 측정, 정교한 도량형 모드 및 강력한 보고서를 통해 최적의 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 자동화 기능으로, 이 기계는 반도체 및 기타 제조 공정에 적합한 선택입니다.