판매용 중고 VERTEX 430 #9182037

VERTEX 430은 최첨단 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 장비로, 고급 논리 장치에 대해 엄격한 프로세스 제어 및 항복 최적화를 제공합니다. 결함 검사, CD 도량형, 전기 측정, 오버레이 (Overlay) 등 시스템의 포괄적인 측정 기능을 통해 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 결과를 제공하는 동시에 디바이스 성능과 안정성을 보장할 수 있습니다. 430 은 CD 도량형에서 가장 높은 수준의 정확성과 해상도를 달성할 수 있도록 독보적인 광학 엔지니어링 설계 (Optical Engineering Design) 를 활용하고 있으며, 광범위한 미세 구조에 대해 빠르고 반복적으로 테스트할 수 있습니다. 6축 비전 (vision) 포지셔닝을 사용하면 CD, 패턴 너비, 패턴 높이 등의 중요한 피쳐를 정확하게 감지하고 측정할 수 있습니다. 독점적 인 ULO (ultra-low optical machine) 를 활용하는 VERTEX 430은 전례없는 수의 스캐닝과 정렬을 결합하여 전례없는 속도와 정확성을 제공합니다. CD 도량형과 더불어, 430 은 고급 논리 디바이스에서 초소형 기능을 검사하기 위한 다양한 전기 측정 (electrical measurement) 및 결함 검사 기능을 제공합니다. 통합 된 전기 전도성 및 충전 측정을 통해 장치 특성을 즉시 확인하고 트랜지스터 로딩을 최적화 할 수 있습니다. 고급 결함 검사 기능은 VERTEX 430의 독점 Deep Ultraviolet 조명 (Deep Ultraviolet Illumination) 도구를 사용하여 오염 또는 입자 응집과 같은 구조적 결함을 감지하여 수율을 줄이고 장치 성능에 악영향을 줄 수 있습니다. 마지막으로, 430의 오버레이 측정 기능을 통해 서로 다른 재료 레이어 (material layer) 간의 정밀 등록 및 정렬 수준을 좁힐 수 있습니다. 전용 디지털 마스크-알리너 (Digital Mask-Aligner) 에셋뿐만 아니라 고속 및 정밀 스테이지 모션을 통해 모델은 수직 및 측면 방향으로 작은 피쳐를 감지하고 측정 할 수 있습니다. VERTEX 430은 모두 고급 논리 디바이스 테스트 및 분석을 위한 일체형 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션을 제공합니다. 종합적인 측정 기능과 결합된 독보적인 광학 엔지니어링 설계 (Optical Engineering Design) 는 장치의 신뢰성과 성능을 보장하는 한편, 엄격한 프로세스 제어 (Process Control) 및 운영 실행을 위한 항복 최적화 (Yield Optimization) 기능을 제공합니다.