판매용 중고 VEECO V200-Si #9254651
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ID: 9254651
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1997
Profilometer, 6"
2D Measurement
Substrate, up to 8"
Probe force range: 0.3-30 mg
Programmable table, 8"
With X, Y: 8" x 8"
Rotation: 360°
Manuals and spare parts included
Camera:
Remote controlled video camera
Zoom lens: 60x - 420x
Scan length: 50 µm to 200 mm
Stage leveling: Automatic
Maximum sample thickness: 45 mm
PC Without storage media
Operating system: Microsoft Windows 3.1
Processor: Pentium core, 8.0 MB RAM
Vertical range: 25 A - 2620 A
Vertical resolution:
1 A / 65 kA
10 A / 655 kA
40 A / 2,620 kA
1997 vintage.
VEECO V200-Si (VEECO V200-Si) 는 제조 과정에서 반도체의 특성을 모니터링하는 데 이상적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 기기입니다. 최대 200mm 크기의 전면 및 후면 웨이퍼를 모두 처리하도록 설계되었습니다. 이 장비는 박막 증착 공정에서 도펀트 농도 (dopant concentrations) 와 레이어 두께 (layer thickness) 를 정확하게 측정하는 데 필요한 정밀도를 제공합니다. 이 시스템은 원자력 현미경 (AFM), 전기 정전기 측정 (ECM) 및 전자 에너지 손실 분광법 (EELS) 을 포함하여 웨이퍼 표면의 데이터를 캡처하는 다양한 감지 기술을 갖추고 있습니다. AFM 옵션을 사용하여 VEECO V 200SI는 서피스 피쳐에 대한 자세한 이미지와 서피스 지형 정보를 얻을 수 있습니다. ECM 및 EELS 시스템은 AFM (AFM) 과 결합하여 나노 미터 수준의 해상도로 웨이퍼 기능을 분석 할 수있는 포괄적 인 측정 세트를 제공합니다. V200 SI에는 데이터 분석 프로세스를 간소화하는 분석 및 도량형 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 박막의 속성을 빠르고, 정확하게 측정하고, 특성화할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 프로세스 데이터를 그래프화하고 시간에 따라 웨이퍼 성능을 추적하기 위해 다양한 2 차원 및 3 차원 차트를 생성하는 데 사용될 수도 있습니다. 이 장치는 다양한 샘플 처리 시스템과 호환되므로 DEKTAK V-200 SI 를 생산 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 기기에는 안전 인터 록 (safety interlock) 과 자동 교정 기능이 장착되어 있어 적절한 작동과 일관된 결과를 보장합니다. 또한 VEECO DEKTAK V-200 SI (VEECO DEKTAK V-200 SI) 는 원격으로 작동할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 실습실 내에서 설정과 매개변수를 신속하게 조정할 수 있습니다. 요약하면, VEECO V- 200 SI는 도펀트 농도, 레이어 두께 및 표면 지형을 정확하게 측정 할 수있는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 이 제품은 반도체 제조 공정, 안전 기능, 샘플 처리 시스템 (sample-handling system) 과의 호환성, 원격 운영 기능 등을 위한 안정적인 데이터를 제공하도록 설계되어 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형에 이상적인 도구입니다.
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