판매용 중고 VEECO V200-Si #9235749
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판매
ID: 9235749
Surface profiler
N2 and CDA: Standard quick connects 7 mm tube
Exhaust: General exhaust, 125 mm
Communication:
Standard printer port
Standard monitor port
Operating system: Windows 98 Second edition
Processor: Pentium (r), 32.0 MB RAM
Vertical range: Up to 262 µm
Vertical resolution (At various ranges): 1Å/65K Å, 10 Å/655K Å, 40 Å/2620K Å
Scan length: 50 µm to 200 mm
Scan speed ranges: 3 to 218 Seconds
Stage leveling: Automatic & power leveling
Stylus: Diamond, 5 µm radius
Stylus tracking force: Programmable, <1-30 mg
Max sample thickness: 45 mm
Sample stage diameter, 8"
Sample stage translation:
X Axis: 200 mm
Y Axis: 200 mm
Sample stage rotation: Θ 360°
Magnification: 60x to 420x
Standard power: 240 V, 10 A.
VEECO V200-Si Wafer Testing and Metrology 장비는 생산 중 반도체 웨이퍼의 중요한 성능 매개변수를 측정하기위한 컴팩트하고 비용 효율적인 솔루션입니다. 소프트웨어 제어 광학을 사용하여 웨이퍼 서피스의 지형, 두께, 균일성을 측정합니다. 또한 다양한 분석 기능 (analysis features) 을 제공하여 웨이퍼가 원하는 사양을 충족시킵니다. VEECO V 200SI는 매우 정확한 스캐닝 및 측정 장치 (Scanning and Measurement Unit) 를 갖추고 있어 Wafer의 특성을 빠르고 쉽게 분석 할 수 있습니다. 기계는 0.3 미크론의 해상도와 최대 26mm x 26mm의 측정 범위를 제공합니다. 현미경은 광학 줌 (optical zoom) 이 최대 1000 배, 넓은 시야 (field of view) 가 있어 개별 장치의 세부 사항을 그대로 유지하면서 더 큰 시야를 볼 수 있습니다. VEECO 도구는 연락처 검사, 비접촉 스캔, 분광 방법 등 다양한 소프트웨어 제어 도량형을 사용합니다. 이러한 기술을 통해 사용자는 피쳐의 높이를 측정하고 검토할 데이터 포인트 (data point) 를 생성할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 지형 데이터의 자동 디지털화부터 표면 거칠기 (surface roughness) 평가에 이르기까지 다양한 데이터 분석 솔루션을 제공합니다. 또한 V200 SI 는 사용자 친화적이고 직관적인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 와 고급 컴퓨팅 리소스 (Computing Resource) 를 포함하여 데이터를 빠르고 쉽게 분석하고 포괄적인 엔지니어링 보고서를 작성할 수 있습니다. 또한, 사용자는 실시간으로 웨이퍼 성능을 모니터링, 분석, 최적화하여 운영 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 품질을 보장할 수 있습니다. 전반적으로 DEKTAK V-200 SI Wafer Testing and Metrology Asset은 자동화된 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위해 매우 정교하고 편리한 솔루션을 제공합니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 와 결합된 정확한 측정 및 분석 기능으로, 정확도가 높은 웨이퍼 검사 작업에 이상적입니다. 또한 VEECO POS (Post-Sales Technical Support) 및 교육 프로그램 (Training Program) 을 통해 사용자는 모델을 최대한 활용하고 운영 프로세스에서 최고의 수준의 정확성과 처리량을 얻을 수 있습니다.
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