판매용 중고 VEECO / SLOAN V200-SL #9266835

VEECO에서 제조한 VEECO/SLOAN V200-SL 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 웨이퍼의 전기적 특성을 테스트하고 측정할 때 최강의 정확도를 제공하도록 설계된 정교한 고정밀 장비입니다. 이 시스템은 인체 공학적 기계 설계로 제작되었으며 일관성 있고 신뢰할 수있는 이미징 및 측정을 위해 정확하고 고속 30kV 전자 광학 (electron optics) 으로 구동됩니다. "나노미터 '내 의 정확성 을 보장 해 주는 정교 한" 펄스' 조절 을 통해, 최고 의 해상도 에서도 역동적 인 시간적 측정 을 할 수 있다. 또한, 다양한 응용 프로그램과 사용자 지정 연산자 인터페이스를 쉽게 관리할 수 있는 동적, 자동 샘플 (sample) 단계가 특징입니다. 이 장치는 간단한 작동 및 스몰 (small-spot) 스캔 기능을 제공하는 직관적인 매개변수 기반 소프트웨어를 제공합니다. 또한 G-V (transconductance-voltage) 곡선, 게이트 누출 전류, 장치 전송, 동적 유전체 상수 및 I-V 곡선을 포함한 포괄적 인 현장 전기 분석을 제공합니다. 정확하고, 신뢰할 수있는 테스트 및 도량형을 위해, 기계는 10äm 해상도의 고급 현미경을 장착한다. 또한, 빔 전류 보상, 자동 결함 분석, 자동 임계값 설정, 프로그래밍 가능한 웨이퍼 스테이지 등, 정확성과 분석을 개선하도록 설계된 많은 기능이 있습니다. 이 도구는 2 개의 개별 구성으로 제공되며, 하나는 단일 챔버, 하나는 2 개의 챔버로 구성됩니다. 단일 챔버 변형에는 76mm 웨이퍼 스테이지가 포함되고 2 챔버 버전에는 150mm 웨이퍼 스테이지가 포함됩니다. 각 챔버에는 자체 통합 정적 도량형 및 동적 전기 측정 시스템이 있습니다. SLOAN의 VEECO V200-SL 웨이퍼 테스트 및 도량형 에셋은 고급 측정 정확도와 신뢰성을 제공하도록 설계된 종합 기기입니다. 직관적인 작동과 종합적인 현장 내 전기 분석 (in-situ electrical analysis) 을 통해 고정밀 반도체 테스트 및 도량형을 완벽하게 선택할 수 있습니다.