판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK V-200 Si #9105704

VEECO/SLOAN DEKTAK V-200 Si 는 다양한 웨이퍼 크기를 수용하도록 특별히 설계된, 비용 효율적인 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고해상도, 이중 축 프로파일 도량형 (Dual Axis Profile Metrology) 및 웨이퍼 데이터의 자동 전자 획득을 제공합니다. V-200 Si는 포커스를 정확하게 제어하고 웨이퍼 에지 검지를 최적화하기 위해 QPD (Quadrant Photo Diode Technology) 를 사용하는 AFC (Automatic Focus Control System) 를 갖추고 있습니다. 이 장치에는 또한 FFB (Feedback Based Stage Control) 머신이 있으며, 이는 박막 도량형의 최적의 온도 기울기를 제공합니다. 초점 매개변수를 자동으로 조정하여 V-200 Si 는 반복 가능한 데이터 정확성과 정밀도를 보장합니다. V-200 Si에는 광학 테이블 웨이퍼 스캐너 (Optic Table Wafer Scanner) 가 장착되어 있으며, 25kHz의 데이터 속도로 여러 웨이퍼를 동시에 측정할 수 있으며, 고해상도 비디오 검사 모드도 제공합니다. 이 스캐너는 [진동 격리 표] 를 사용하여 드리프트 효과와 환경 노이즈를 최소화하여 데이터 반복성을 향상시킵니다. 또한 스캐너 (scanner) 는 단일 단계를 사용하여 다양한 크기의 웨이퍼 사이에서 측정 매개변수를 정확하게 조정하는 운동학적 색인 (kinematic indexing) 도구를 갖추고 있습니다. 또한 V-200 Si 에는 고객의 사양에 맞게 데이터를 손쉽게 사용자 정의할 수 있는 고급 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 서피스 지형을 자동으로 계산할 수 있으며 결함, 단계, 그루브, 연결 등의 피쳐를 검색, 정량화할 수 있습니다. 이러한 패키지는 통계 분석, 추세 계획, 맞춤형 보고 기능도 제공합니다. V-200 Si는 단일 샷에서 여러 웨이퍼를 측정하는 것보다 더 쉬워집니다. 이 최첨단 자산은 데이터 업데이트 정확성, 고해상도 이미지, 정확한 도량형 (metrology) 결과를 고객에게 제공합니다. 고객은 VEECO V200-SI (VEECO V200-SI) 를 사용하여 테스트 및 도량형 애플리케이션을 최대한의 정확도로 처리할 수 있습니다.