판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK IID #9061409
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VEECO/SLOAN DEKTAK IID는 다양한 반도체 구성 요소 및 프로세스를 빠르고 정확하게 측정하도록 설계된 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고성능 광학 도량형 도구 (Optical Metrology Tools) 와 강력한 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 기술을 결합하여 오늘날의 고급 반도체 시장의 엄격한 요구를 충족할 수 있습니다. VEECO DEKTAK IID는 포지셔닝 기능, 최첨단 이미징 기술, 고급 테스트 및 도량형 방법의 독특한 조합을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 밝은 조명 스트림, 이동파 변위 기술 (traveling-wave displacement technology) 및 레이저 다이오드 (laser diode) 정렬을 사용하여 웨이퍼의 평평함과 프로파일을 정확하게 측정하는 고급 광학 시스템이 포함됩니다. 또한 SLOAN DEKTAK IID는 다양한 기판, 공구 유형 및 테스트 유형에 포함될 수 있습니다. 기계에는 고속 스캔 (Area Scan) 제어 기능이 장착되어 있어 매번 정확하고 정확한 판독값을 제공합니다. 이 도구는 직경 8, 12, 15 인치의 기판을 포함하여 다양한 웨이퍼 크기를 수용하도록 구성됩니다. 고성능 Area Scan 컨트롤을 사용하면 테스트 시간이 단축되고 처리량이 늘어납니다. DEKTAK IID에는 여러 통합 드로잉 및 보고 기능도 있습니다. 사용자는 사용자 지정 테스트 (customized test) 와 도면 (drawing) 을 개발하여 새로운 테스트를 신속하게 설정하고 품질 결과를 유지할 수 있습니다. 에셋의 통합 드로잉 편집기 (Integrated Drawing Editor) 및 웨이퍼 처리 도구 (Wafer Processing Tools) 를 사용하면 드로잉을 생성하고 테스트가 빠르고 간단해집니다 이러한 통합 도구 외에도, 이 모델은 고급 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 을 위한 다양한 옵션도 제공합니다. 장비는 CD 값, 웨이퍼 아웃가스 수준, 펩타이드 차이, 평판, 유전체 측정, 표면 거칠기 수준 등 다양한 유형의 데이터를 측정하고 표시 할 수 있습니다. 또한 VEECO/SLOAN DEKTAK IID는 피쳐 크기와 피치의 변화를 감지하여 프로세스 제어를 개선하고 프로세스 변화를 줄일 수 있습니다. 전반적으로 VEECO DEKTAK IID는 신뢰할 수 있고, 정확하며, 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 고급 광학 기술과 강력한 테스트 기능을 결합한 SLOAN DEKTAK IID (DEKTAK IID: SLOAN DEKTAK IID) 는 사용자가 빠르고 신뢰할 수 있는 결과를 제공하므로 출시 시간을 줄이고 전반적인 반도체 성능을 향상시킬 수 있습니다.
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