판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9397420
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VEECO/SLOAN DEKTAK IIA는 다양한 반도체 장치에 대한 정확한 측정 및 테스트 결과를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. VEECO DEKTAK IIA는 서보 모터로 구동되는 특허받은 스캐닝 스타일러스를 사용하는 테이블 탑 장치입니다. 이 시스템은 박막 (thin film), 스텝 높이 (step height), 패턴화된 피쳐 및 기타 지형 정보의 프로파일 높이를 매우 정확하고 정확하게 측정할 수 있습니다. SLOAN DEKTAK IIA의 USB 인터페이스를 통해, 이 장치는 구성, 데이터 수집, 시각화 및 분석을 빠르고 쉽게 제어할 수 있습니다. 이 기계는 스캐닝 전자 빔 (Scanning Electron Beam) 기술을 사용하여 다양한 샘플에 대한 빠르고 안정적인 3D 지형 정보를 제공합니다. 전동식 서보 (motorized servo) 는 스타일러스를 구동하여 e 샘플 서피스 위로 X 및 Y 방향으로 이동하고, 스타일러스는 샘플의 높이 프로파일을 따라 데이터 포인트를 기록합니다. 측정 분석 및 시각화는 DEKTAK IIA 소프트웨어에서 직접 수행 할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 프로파일 서피스를 얻을 때 실시간으로 시각화합니다. 또한 3D 매핑 (3D Mapping) 및 3D 이미지 분석 (3D Image Analysis) 의 입력으로 사용할 수 있는 출력 파일로 데이터를 내보낼 수 있습니다. 또한 선형 측정, 횡단면 프로파일, 영역 분석, 스펙트럼 분석 등 다양한 후처리 기능을 제공합니다. VEECO/SLOAN DEKTAK IIA 도구는 고속 성능과 정확성으로 널리 알려져 있습니다. 측정 해상도는 스텝 높이에서 최대 0.1nm, 프로파일 높이에서 2nm에 도달 할 수 있으므로 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 응용 프로그램에 적합합니다. 이 자산은 또한 고속 스캐닝 (scanning) 기능을 갖추고 있으며, 샘플 검사를 위해 빠르고 정확한 정보를 얻기 위해 초당 최대 150 포인트까지 측정 할 수 있습니다. VEECO DEKTAK IIA (VEECO DEKTAK IIA) 는 소형 설계를 제공하여 실험실 벤치에 적합하고 모든 웨이퍼 테스트 및 도량형 환경에 쉽게 부합 할 수 있습니다. 또한 기존 시스템보다 더 경제적인 Wafer 테스트 및 도량형 (Metrology) 솔루션을 제공하며, 유지 보수 및 운영도 용이합니다. SLOAN DEKTAK IIA (SLOAN DEKTAK IIA) 는 웨이퍼 테스트 및 도량형이 필요한 사람들을 위한 매우 효율적이고, 정확하며, 비용 효율적인 솔루션입니다.
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