판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9123971
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ID: 9123971
웨이퍼 크기: 5"
빈티지: 1983
Programmable linear scanning system, 5"
Vertical resolution: 5 Angstroms
Scan time 4 to 65 sec
12.5 Micron radius stylus
Tracking force: 10 to 50mg
Data points: 1000
(3) Scanning speeds
Microscope standard: 70X
1983 vintage.
VEECO/SLOAN DEKTAK IIA는 고급 소프트웨어 및 하드웨어를 사용하여 다양한 웨이퍼를 감지, 측정 및 분석하는 다기능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 63mm ~ 300mm 외경의 모터, 전체 범위의 센서 포트, 독점 소프트웨어가있는 새로운 이미징 장치 (영상 장치) 와 같은 고급 하드웨어 구성 옵션이 있습니다. 또한 전례없는 정확도로 1D 및 2D 프로파일을 모두 측정 할 수있는 강력한 양자 노이즈 현미경이 특징입니다. VEECO DEKTAK IIA는 프로덕션 환경을 위해 설계되었으며 반복 가능한 정확도로 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 여기에는 테스트 및 측정 과정에서 자동화된 웨이퍼 방향 (Wafer Orientation) 과 정확한 위치 지정 (Positioning) 을 가능하게 하는 견고한 수직 단계 (Rigid Vertical Stage) 및 정교한 패턴 모듈 (Pattern Module) 과 같은 기능이 포함됩니다. 또한, 서브 나노 미터 정밀도로 가장 높은 확대율에서 정적 및 동적 웨이퍼 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. SLOAN DEKTAK IIA는 표면 프로파일, 웨이퍼 스트레스 결정, 자동 광학 검사, 저항성, 접착 및 재료 구성 측정과 같은 응용 프로그램을 지원하는 매우 다재다능합니다. 또한 사용자 친화적인 기능으로, 작업 사이트의 모든 위치에서 편리한 인터페이스와 터치스크린 메뉴 (Touchscreen Menu) 를 이용할 수 있어 모든 작업에 유연성이 극대화됩니다. 또한 DEKTAK IIA는 SEMI, IEEE 및 JEDEC과 같은 모든 주요 산업 표준과 호환됩니다. VEECO/SLOAN DEKTAK IIA는 시장에서 가장 발전된 도량형 시스템 중 하나이며, 웨이퍼 생산에 비용 효율적이고, 안정적이며, 정확도가 높은 측정을 제공합니다. 이전 모델에 비해 탁월한 성능을 제공하므로 운영 프로세스를 빠르고 정확하게 모니터링할 수 있습니다 (영문). 이 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 및 도량형 머신 (Metrology Machine) 은 모든 생산 환경에 적합한 선택이며, 다용도 및 고급 기능으로 연구 및 산업 프로젝트 모두에 적합합니다.
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