판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9018954

VEECO/SLOAN DEKTAK IIA는 고급 반도체 장치의 특성화를위한 의미있는 데이터를 제공하는 정교한 도량형 기능을 제공하는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 스테이지, 자동 초점 장치, 광학 현미경, 자동 정지 등 여러 구성 요소로 구성됩니다. VEECO DEKTAK IIA에는 최대 8 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 웨이퍼 스테이지가 있으며, 웨이퍼 정렬 및 포지셔닝에 최대 10 도의 자유를 제공합니다. 스테이지는 2 개의 직교 평행, 4 개의 경사 축, 2 개의 회전 및 2 개의 표면 추적으로 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 스테이지는 300mm 및 200mm 웨이퍼를 모두 수용 할 수도 있습니다. 자동 초점 기계는 테스트 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼를 최적의 초점 (1jm) 이내로 유지합니다. 자동 (autostage) 을 사용하면 정확한 웨이퍼 배치를 통해 일관성 있는 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구에는 고속, 고해상도 광학 현미경이 장착되어 있어 50 nm 이하의 기능을 정확하게 측정 할 수 있습니다. SLOAN DEKTAK IIA는 저항성, 지형, 임계 크기 (CD) 및 오버레이 수준, 장치 구조 및 기타 장치 매개변수를 측정합니다. VEECO (VEECO) 가 제공하는 가장 유연한 자산으로서, 다양한 환경에서 강력한 제어와 정확한 결과를 제공합니다. 또한, 이 모델에는 사용자 생산성을 향상시키는 몇 가지 소프트웨어 도구가 있습니다. 이 장비를 사용하면 고급 프로세스 단계를 신속하고 정확하게 데이터 수집 및 분석할 수 있습니다. 양적 평가를 통해 웨이퍼 수익률 모니터링, 반복 가능한 장치 영역 식별, 귀중한 프로세스 개발 피드백 제공 (provision of valuable process development feedback) 등의 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, DEKTAK IIA는 전자 빔 및 X 선 검사 도구와 호환되므로 제조업체는 웨이퍼의 다양한 구조를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 요약하면, VEECO/SLOAN DEKTAK IIA는 고급 반도체 장치의 특성화에 중요한 데이터를 제공하는 정교한 기능을 제공하는 다목적 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 장치에는 고속, 고해상도 광학 현미경이 장착되어 있으며, 50 nm 해상도의 기능을 측정 할 수 있습니다. 다양한 디바이스 매개 변수에 대한 빠르고 정확한 데이터 수집 및 분석 기능을 제공합니다 (영문). 또한, 독보적인 소프트웨어 툴은 사용자 생산성을 향상시키고, 웨이퍼 (Wafer) 수율 모니터링과 수익 증대에 사용할 수 있는 양적 평가를 허용합니다.