판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK II #9061099

VEECO/SLOAN DEKTAK II는 반도체 산업의 다양한 응용 분야에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 자동 스캐닝 (automated scanning) 또는 고해상도 이미징 기술을 사용하여 라인 너비, 릿지 높이, 에치 깊이 등의 물리적 기능을 포함하여 반도체 웨이퍼의 기능을 측정합니다. 시스템은 2 차원 프로파일 데이터 획득을 통해 웨이퍼의 서피스 지형을 자동으로 측정 할 수 있습니다. 또한 표면 거칠기, 반사율, 접착과 같은 표면 물리적 특성을 측정 할 수도 있습니다. 이 장치는 광학 프로브 (optical probe) 와 전기 프로브 (electrical probe) 의 조합을 사용하여 저항, 커패시턴스 및 전류 누출과 같은 웨이퍼의 전기 매개변수를 측정합니다. 스타일러스 유형 프로파일로미터 (stylus type profilometer) 는 범프, 능선 및 계곡의 위치를 감지하는 데 사용됩니다. 스타일러스는 0.1 미크론의 해상도로 최대 5 마이크로 미터의 기능과 높이를 측정 할 수 있습니다. 최대 0.1 나노미터 (0.1 나노미터) 의 기능을 갖춘 접촉력 현미경을 갖추고 있습니다. 기계는 또한 웨이퍼 표면의 평평함, 평면 성 및 비 균일성을 측정 할 수 있습니다. 수정된 난시 빔 프로파일 검출기와 함께 CCD 카메라를 사용하여 웨이퍼 서피스를 이미지화하여 형태 편차 각도 (form deviation angle), 단계 높이 (step height) 및 기울기 (slope) 정확도와 같은 다른 매개변수를 측정합니다. CCD 카메라는 높은 정확도 센서로 보정 및 모니터링됩니다. 이 도구는 또한 에칭, 증착, 청소, 연마 및 도핑 기술의 효과를 측정하여 다양한 생산 프로세스를 테스트하는 기능을 제공합니다. 또한 고온 (최대 250C) 및 진공 환경에서 테스트를 수행 할 수있는 기능을 제공합니다. 사용자는 직선, 원, 임의의 패턴에 이르기까지 다양한 선 유형 (line style) 중에서 선택할 수 있습니다. VEECO DEKTAK II는 자동 웨이퍼 로드 및 언로드를 수행 할 수도 있습니다. "웨이퍼 '취급 자산 이 갖추어져 있는데, 이" 에셋' 은 오염 가능성 을 줄이기 위한 것 이며 "로보틱스 '취급" 모델' 은 자동화 된 "웨이퍼 '적재 및 하역 을 위한 것 이다. 또한, 이 장비는 고속 PPG, ESD, 단기 분석 및 명목 테스트 기능을 사용하는 하이엔드 성능을 제공합니다. SLOAN DEKTAK II 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 반도체 산업의 다양한 응용 분야에 사용되는 도구입니다. 서피스 지형, 전기 매개변수, 서피스 거칠기, 반사율, 접착 등 다양한 속성을 측정 할 수 있습니다. 또한 컨택트 포스 현미경, CCD 카메라 교정, 자동 웨이퍼 로딩 및 언로드와 같은 고급 도구를 제공하여 안정적이고 정확한 표면 분석 및 도량형을 제공합니다.