판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK II #78838

VEECO / SLOAN DEKTAK II
ID: 78838
Profilometer Controller.
VEECO/SLOAN DEKTAK II는 반도체 산업을위한 일류 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 장치 특성 및 프로세스 최적화를 위한 최첨단 고성능 툴입니다. VEECO DEKTAK II는 웨이퍼 및 기타 기판에 서브 미크론 프로파일을 생성하는 독특한 광학 지형 및 기계적 편향 측정 시스템을 사용합니다. SLOAN DEKTAK II에는 사용자가 표면 거칠기, 표면 높이 및 기타 웨이퍼/기판 매개변수를 빠르고 정확하게 측정 할 수있는 통합 소프트웨어 유닛이 있습니다. DEKTAK II는 낮은 전기자 질량, 선형 모터 프로파일 도구 및 통합 간섭계가있는 견고하고 액체 냉각 단계를 사용합니다. 이 기계를 사용하면 뼈대의 움직임이 자체 최적화되고 공구는 0.0001 "(2.5 미크론) 의 정확도로 단위 없는 정밀도 측정을 얻을 수 있습니다. 이 성능은 유전체, 금속, polysilicon 및 metals-on-dielectrics를 포함한 모든 반도체 가공 표면에 적합합니다. 온보드 SCAP (Scan Control, Analysis, and Path Planner) 소프트웨어 패키지를 사용하면 여러 플롯 유형과 통계 보고 기능을 통해 상세한 스캔 경로 계획을 수립할 수 있으며, 시간과 비용을 절감할 수 있습니다. SCAP는 자동 테스트 및 측정 루틴을 통합하는 데 사용될 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어는 제공된 샘플 (sample) 홀더와 함께 한 세션에서 여러 기판을 프로파일하는 기능을 지원합니다. 또한 VEECO/SLOAN DEKTAK II는 풀 프레임, 고해상도 디지털 카메라가있는 다중 광원 이미징 자산을 사용합니다. 이 이미징 모델은 전체 기판의 시각적 스냅샷을 제공하는 데 사용됩니다. 기판의 확산 투영 (diffused projection) 을 사용하여 사용자는 기판 특성뿐만 아니라 불균일 성 (non-uniformities) 이나 결함을 신속하게 확인할 수 있습니다. VEECO DEKTAK II는 모든 기능을 갖춘 그래픽 사용자 인터페이스로 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 고정밀도 측정 기능과 이미징 (Imaging) 장비는 반도체 제작 업계의 핵심 프로세스를 최적화하는 완벽한 도구다. VEECO는 HPHT (High-Pressure/High-Temperature) 통합 기능과 같은 기술 고급 기능으로 제품을 계속 업데이트하여, 극한의 조건에서 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. SLOAN DEKTAK II는 정확성, 다양성, 신뢰성을 갖춘 주요 반도체 제조 공정의 개발 및 최적화에 이상적인 시스템입니다.
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