판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK I #9018953

VEECO/SLOAN DEKTAK I은 광범위한 반도체 프로세스 제어 요구를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 -35 ~ 350 ° C의 다양한 온도에서 작동 할 수있는 정밀 테스트 측정 메커니즘이 장착되어 있습니다. VEECO DEKTAK I 웨이퍼 테스트 장비에는 2 개의 핸들, 2 개의 조정 가능한 진공 탭 및 2 개의 스테이지 높이 선택기가 있습니다. 진공 (Vacuum) 탭을 사용하면 표본 웨이퍼의 직접 접촉 및 조작이 가능합니다. 진공 "탭 '의 구성 은 필요 한 대로 쉽게 조정 할 수 있으며, 그 로 인해 높이 와 크기 가 다른 다양 한" 웨이퍼' 를 만들 수 있다. SLOAN DEKTAK I은 최대 ± 5.0 ° 의 기울기 및 평면 측정과 1nm 스텝 해상도의 다양한 광학 웨이퍼 표면 맵을 제공합니다. 이렇게 하면, 최적의 프로세스 제어를 위해 고해상도를 가진 최고 정밀도 표면 이미지를 캡처할 수 있습니다. DEKTAK I에는 Scratch Pen, XY Scanner 및 Video Microscope와 같은 Surface Metrology Instruments와 통합 할 수있는 통합 자동화 인터페이스도 있습니다. 예를 들어 스크래치 펜 (Scratch Pen) 은 표면 감지 및 특성화에 사용할 수 있으며 비디오 현미경 (Video Microscope) 은 미세 결함 검사에 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 접촉력 (contact force) 이 낮은 고정밀 샘플 홀더 (sample holder) 가 포함되어 있으며, 이는 샘플 보호를 제공하면서 기계의 열 동질성을 최대화하도록 설계되었습니다. VEECO/SLOAN DEKTAK I에는 웨이퍼 서피스 맵의 초점 조정이 가능한 고유한 초점 팁 (Focus Tip) 도 포함되어 있습니다. VEECO DEKTAK I Wafer Testing and Metrology (VEECO DEKTAK I Wafer Testing and Metrology) 툴에는 인덱싱 및 확장, 프로그래밍 및 테스트, 오류 분석 및 보고, 통계 데이터 생성 및 관리 등 자산의 모든 작업을 제어하기 위한 독점 소프트웨어 패키지도 있습니다. 결론적으로, SLOAN DEKTAK I (SLOAN DEKTAK I) 는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 매우 정확하고 안정적인 모델이며, 다양한 반도체 프로세스 범위에서 최고의 정확성과 정확성을 보장하는 다양한 기능을 제공합니다.