판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 8 #9244494

VEECO/SLOAN DEKTAK 8은 고정밀 웨이퍼 테스트 및 계측 장비로, 웨이퍼 레벨 형상의 결정과 특성화에서 뛰어난 정확성과 반복 성을 제공합니다. 이 시스템은 서피스 지형, 스텝 높이, 저항성, 도핑, 오염 및 열/기계적 특성과 같은 다양한 웨이퍼 매개변수를 정확하게 측정 할 수 있습니다. VEECO DEKTAK 8은 2 축 틸테이블 플랫폼에 장착 된 다중 센서 결정력 센서 팁을 사용하는 가변 힘 프로브 장치입니다. 샘플 서피스의 피치 (pitch) 및 롤 (roll) 각도와 Z 높이 측정을 모두 측정할 수 있으며, 데이터 캡처 및 분석을 지원하는 하이엔드 PC 및 데이터 획득 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 기계는 광학 문자 인식 (Optical Character Recognition) 을 포함하며, 예제의 소스 및 방향 결정을 돕기 위해 웨이퍼의 텍스트 각인을 쉽게 처리할 수 있습니다. SLOAN DEKTAK 8은 정확한 표면 프로파일링을 위해 고급 3D 이미징 기술을 제공합니다. 2D 높이 프로파일 해상도 5.2nm 및 저항력 측정을위한 5.0mV 해상도가 특징입니다. 공구는 200mm 크기의 치수를 측정할 수 있으며, 작업 면적은 100x45mm입니다. 공기 베어링이 포함되어 있으며, 우수한 소음 및 진동 감소가 가능합니다. 가이드와 프로브 헤드 사이에 고온의 세라믹 절연 층 (ceramic insulation layer) 이있는 장기 작동을 위해 설계되었습니다. DEKTAK 8은 장기간의 정확도 등급 0.15nm, 반복 성 최대 0.05nm로 강력하고 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. 고급 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 및 특성화에 이상적인 뛰어난 성능과 기능을 제공합니다.