판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #9006097

VEECO/SLOAN DEKTAK 6M 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 및 기타 박막의 표면 품질을 테스트하고 측정하는 강력하고 효율적인 방법입니다. 이 시스템은 고급 쿼츠 결정 균형을 사용하여 0.0668 µm (0.000261 in) 의 해상도를 가진 샘플의 스텝 높이, 지형, 2 차원 표면 프로파일 및 특정 결함 위치를 측정합니다. 고해상도 측정은 특허받은 커패시턴스 브릿지 (capacitance bridge) 기반 쿼츠 크리스탈 밸런스 (quartz crystal balance) 에 의해 이루어지며, 뛰어난 반복성과 장기 안정성과 함께 매우 낮은 소음 출력, 높은 감도를 달성 할 수 있습니다. 이 장치는 최대 10mm (0.394 인치) 의 조정 가능한 측정 범위를 가지며 대부분의 실험실 설정에 맞도록 작은 설치 공간을 갖추고 있습니다. 또한 소음 수준을 줄이고 정확한 측정을 보장하기 위해 통합 진동 분리 장치 (Integrated Vibration Isolator) 가 포함되어 있습니다. 석영 결정 균형은 결정질 구조를 분해하지 않고 고온 및 환경 스트레스를 견딜 수 있도록 설계된 재료로 만들어졌으며, 최대 1600 ° C (2912 ° F) 의 측정 값으로 평가됩니다. 이 기계에는 고해상도 그래픽 LCD 터치스크린이 장착되어 있어 쉽게 설치, 탐색을 통해 신속하게 측정하고 데이터를 기록할 수 있습니다. VEECO DEKTAK 6M (VEECO DEKTAK 6M) 은 내부 메모리에 최대 5 개의 매개변수를 저장하는 데 사용할 수 있으며, 데이터 저장, 분석 및 보고 도구에 연결할 수 있는 USB 포트가 장착되어 있습니다. 또한, 건조 한 공기 정화 자산 (air purge asset) 을 사용하여 고온 과정에서 부식을 줄일 수 있습니다. 이 모델은 박막 두께 측정, 표면 거칠기, 결함 식별, 구성 분석 등 다양한 웨이퍼 도량형 (wafer metrology) 및 테스트 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 또한, 장비를 사용하여 전기 측정 기능이 내장 된 웨이퍼 (wafer) 의 전기 특성을 연구 할 수 있습니다. 모든 측정 매개변수는 SLOAN DEKTAK 6M 소프트웨어를 통해 관리할 수 있으며, 다양한 파일 형식으로 내보낼 수 있습니다. 이 다양하고 강력한 시스템은 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 와 도량형 (metrology) 이 필요한 모든 실험실에 적합한 자산입니다.